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首頁 新聞中心 行業(yè)資訊 芯片凈化車間層流罩氣體流向

芯片凈化車間層流罩氣體流向

2024-11-12
共有2460家企業(yè)看過

  芯片凈化車間的層流罩氣體流向設(shè)計對于維持車間的潔凈度至關(guān)重要。一般來說,層流罩內(nèi)的氣體流向應(yīng)遵循以下原則,具體就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  一、總體流向

  在芯片凈化車間中,層流罩的氣體流向通常是從潔凈區(qū)向非潔凈區(qū)流動,以防止污染物進入潔凈區(qū)。這種設(shè)計可以確保車間內(nèi)的空氣流動穩(wěn)定,且能夠有效地將潔凈空氣送入工作區(qū)域,同時將污染空氣排出。

  二、單向流潔凈室的氣體流向

  許多芯片凈化車間采用單向流潔凈室設(shè)計,其層流罩的氣體流向具有以下特點:

  1、垂直單向流:在這種設(shè)計中,氣體以一定的速度(如0.25~0.5m/s)從頂棚流向地坪。這種氣流能夠創(chuàng)造高潔凈級別(如100級、10級、1級或更高)的工作環(huán)境。氣體在流動過程中,將灰塵和污染物從一端向另一端擠壓出去,實現(xiàn)潔凈空氣的置換。

  2、水平單向流:氣體以一定的速度(如0.3~0.5m/s)從一面墻流向?qū)γ鎵Α_@種設(shè)計也能達到較高的潔凈級別(如100級)。水平單向流的氣體流向同樣遵循從潔凈區(qū)向非潔凈區(qū)流動的原則,確保工作區(qū)域的空氣潔凈度。


芯片凈化車間


  三、氣流組織的優(yōu)化

  為了確保層流罩內(nèi)的氣體流向達到最佳效果,還需要對氣流組織進行優(yōu)化。這包括合理布置送風(fēng)口和回風(fēng)口,以及確保送風(fēng)口送出的潔凈空氣能夠均勻擴散到整個工作區(qū)域。同時,回風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在能夠有效抽走污染空氣的位置,避免氣流短路和渦流現(xiàn)象的發(fā)生。

  四、注意事項

  1、排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計:排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)負責(zé)將車間內(nèi)產(chǎn)生的廢氣、污染物及多余熱量排出,同時保持車間內(nèi)空氣流動的穩(wěn)定性和潔凈度。設(shè)計時需考慮不同氣體類型的處理方式和設(shè)計策略,如酸性或堿性氣體需設(shè)置濕式洗氣吸收塔等處理裝置;有機氣體需配備活性炭吸附、催化燃燒等處理設(shè)備;粉塵則需采用高效除塵設(shè)備進行過濾處理。

  2、壓差控制:凈化車間應(yīng)維持一定的正壓或負壓,以防止外界污染空氣進入或內(nèi)部污染空氣外泄。壓差控制可以通過調(diào)節(jié)送風(fēng)量、回風(fēng)量、排風(fēng)量和漏風(fēng)量來實現(xiàn)。

  3、定期維護:層流罩及其相關(guān)設(shè)備需要定期進行清潔和維護,以確保其正常運行和達到預(yù)期的潔凈效果。

  綜上所述,芯片凈化車間層流罩的氣體流向設(shè)計應(yīng)遵循從潔凈區(qū)向非潔凈區(qū)流動的原則,并通過優(yōu)化氣流組織、合理設(shè)計排風(fēng)系統(tǒng)和壓差控制等方式來確保車間的潔凈度和空氣流動穩(wěn)定性。

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