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首頁(yè) 新聞中心 行業(yè)資訊 半導(dǎo)體無(wú)塵車間壓差怎么調(diào)整

半導(dǎo)體無(wú)塵車間壓差怎么調(diào)整

2024-10-29
共有4685家企業(yè)看過(guò)

  半導(dǎo)體無(wú)塵車間的壓差調(diào)整是一個(gè)復(fù)雜但至關(guān)重要的過(guò)程,它涉及到多個(gè)方面的控制和調(diào)節(jié)。以下是合潔科技電子潔凈工程公司一些關(guān)于如何調(diào)整半導(dǎo)體無(wú)塵車間壓差的方法和建議:

  一、潔凈空調(diào)系統(tǒng)的合理設(shè)計(jì)和配置

  1、確定壓差需求:根據(jù)車間的實(shí)際情況和潔凈度要求,合理設(shè)計(jì)和配置潔凈空調(diào)系統(tǒng)。一般情況下,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

  2、選擇送風(fēng)口:對(duì)于有潔凈度要求的工藝區(qū)域,配置高風(fēng)量、低阻力的送風(fēng)口;對(duì)于一般區(qū)域,配置低風(fēng)量、高阻力的送風(fēng)口,以實(shí)現(xiàn)壓差控制。

  二、壓差控制方法

  1、定風(fēng)量控制法:

  通過(guò)風(fēng)速儀測(cè)量總送風(fēng)管中的平均截面風(fēng)速,計(jì)算出總送風(fēng)量,并將其與設(shè)計(jì)風(fēng)量進(jìn)行對(duì)比和調(diào)整,直至兩者一致。

  確定新風(fēng)比例,并通過(guò)調(diào)節(jié)新風(fēng)電動(dòng)閥來(lái)控制新風(fēng)量。

  通過(guò)調(diào)整潔凈走廊的回風(fēng)閥角度(一般為40°~80°),實(shí)現(xiàn)對(duì)潔凈走廊的壓差控制。

  2、壓差閥控制法:

  壓差閥是一種專門用于控制壓差的裝置,可以安裝在工藝設(shè)備與潔凈室之間的隔斷門上。

  通過(guò)調(diào)節(jié)門的開(kāi)啟程度,壓差閥可以控制潔凈室內(nèi)外的壓差。

  壓差閥可以自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié),根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定合適的壓差值。

  3、現(xiàn)代化壓差控制系統(tǒng):

  在關(guān)鍵區(qū)域安裝壓差傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓差值的變化,并將信號(hào)傳輸給控制器進(jìn)行處理。

  控制器根據(jù)設(shè)定的壓差值進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),通過(guò)調(diào)整送風(fēng)量、排風(fēng)量等參數(shù)來(lái)控制壓差。


半導(dǎo)體無(wú)塵車間


  三、氣流組織形式的選擇

  1、上送上回或下送上回:根據(jù)車間的實(shí)際情況進(jìn)行選擇和設(shè)計(jì),以減少渦流和死角,保證車間的潔凈度和生產(chǎn)質(zhì)量。

  2、垂直單向流或非單向流:根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的要求選擇合適的氣流流型。

  四、人員培訓(xùn)和管理

  1、制定嚴(yán)格的人員進(jìn)出管理制度:控制人員的流動(dòng)性和數(shù)量,以減少對(duì)車間壓差控制的影響。

  2、加強(qiáng)人員培訓(xùn):定期對(duì)操作人員進(jìn)行培訓(xùn),提高他們的技能水平和責(zé)任心,確保壓差控制得到有效執(zhí)行。

  五、定期維護(hù)和檢測(cè)

  1、定期檢測(cè)壓差:定期對(duì)凈化車間的壓差進(jìn)行檢測(cè)和記錄,確保壓差始終保持在設(shè)定的范圍內(nèi)。

  2、設(shè)備維護(hù):對(duì)風(fēng)機(jī)、風(fēng)口、風(fēng)閥等關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行定期檢查和維護(hù),確保其正常運(yùn)行和有效工作。

  綜上所述,半導(dǎo)體無(wú)塵車間的壓差調(diào)整需要從潔凈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和配置、壓差控制方法、氣流組織形式的選擇、人員培訓(xùn)和管理以及定期維護(hù)和檢測(cè)等多個(gè)方面入手。通過(guò)這些措施的實(shí)施和落實(shí),可以確保半導(dǎo)體無(wú)塵車間的壓差得到有效控制和管理,為產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境安全提供有力保障。

EPC無(wú)塵凈化工程案例

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