潔凈級(jí)別:百級(jí)、千級(jí)、10萬(wàn)級(jí)
建筑面積:8300平方米
項(xiàng)目地址:深圳
半導(dǎo)體無(wú)塵車間的壓差調(diào)整是一個(gè)復(fù)雜但至關(guān)重要的過(guò)程,它涉及到多個(gè)方面的控制和調(diào)節(jié)。以下是合潔科技電子潔凈工程公司一些關(guān)于如何調(diào)整半導(dǎo)體無(wú)塵車間壓差的方法和建議:
一、潔凈空調(diào)系統(tǒng)的合理設(shè)計(jì)和配置
1、確定壓差需求:根據(jù)車間的實(shí)際情況和潔凈度要求,合理設(shè)計(jì)和配置潔凈空調(diào)系統(tǒng)。一般情況下,潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。
2、選擇送風(fēng)口:對(duì)于有潔凈度要求的工藝區(qū)域,配置高風(fēng)量、低阻力的送風(fēng)口;對(duì)于一般區(qū)域,配置低風(fēng)量、高阻力的送風(fēng)口,以實(shí)現(xiàn)壓差控制。
二、壓差控制方法
1、定風(fēng)量控制法:
通過(guò)風(fēng)速儀測(cè)量總送風(fēng)管中的平均截面風(fēng)速,計(jì)算出總送風(fēng)量,并將其與設(shè)計(jì)風(fēng)量進(jìn)行對(duì)比和調(diào)整,直至兩者一致。
確定新風(fēng)比例,并通過(guò)調(diào)節(jié)新風(fēng)電動(dòng)閥來(lái)控制新風(fēng)量。
通過(guò)調(diào)整潔凈走廊的回風(fēng)閥角度(一般為40°~80°),實(shí)現(xiàn)對(duì)潔凈走廊的壓差控制。
2、壓差閥控制法:
壓差閥是一種專門用于控制壓差的裝置,可以安裝在工藝設(shè)備與潔凈室之間的隔斷門上。
通過(guò)調(diào)節(jié)門的開(kāi)啟程度,壓差閥可以控制潔凈室內(nèi)外的壓差。
壓差閥可以自動(dòng)或手動(dòng)調(diào)節(jié),根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定合適的壓差值。
3、現(xiàn)代化壓差控制系統(tǒng):
在關(guān)鍵區(qū)域安裝壓差傳感器,實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)壓差值的變化,并將信號(hào)傳輸給控制器進(jìn)行處理。
控制器根據(jù)設(shè)定的壓差值進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié),通過(guò)調(diào)整送風(fēng)量、排風(fēng)量等參數(shù)來(lái)控制壓差。
三、氣流組織形式的選擇
1、上送上回或下送上回:根據(jù)車間的實(shí)際情況進(jìn)行選擇和設(shè)計(jì),以減少渦流和死角,保證車間的潔凈度和生產(chǎn)質(zhì)量。
2、垂直單向流或非單向流:根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的要求選擇合適的氣流流型。
四、人員培訓(xùn)和管理
1、制定嚴(yán)格的人員進(jìn)出管理制度:控制人員的流動(dòng)性和數(shù)量,以減少對(duì)車間壓差控制的影響。
2、加強(qiáng)人員培訓(xùn):定期對(duì)操作人員進(jìn)行培訓(xùn),提高他們的技能水平和責(zé)任心,確保壓差控制得到有效執(zhí)行。
五、定期維護(hù)和檢測(cè)
1、定期檢測(cè)壓差:定期對(duì)凈化車間的壓差進(jìn)行檢測(cè)和記錄,確保壓差始終保持在設(shè)定的范圍內(nèi)。
2、設(shè)備維護(hù):對(duì)風(fēng)機(jī)、風(fēng)口、風(fēng)閥等關(guān)鍵設(shè)備進(jìn)行定期檢查和維護(hù),確保其正常運(yùn)行和有效工作。
綜上所述,半導(dǎo)體無(wú)塵車間的壓差調(diào)整需要從潔凈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和配置、壓差控制方法、氣流組織形式的選擇、人員培訓(xùn)和管理以及定期維護(hù)和檢測(cè)等多個(gè)方面入手。通過(guò)這些措施的實(shí)施和落實(shí),可以確保半導(dǎo)體無(wú)塵車間的壓差得到有效控制和管理,為產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境安全提供有力保障。