芯片凈化車間的等級(jí)劃分主要依據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織(ISO)制定的ISO 14644系列標(biāo)準(zhǔn)，以及行業(yè)內(nèi)廣泛認(rèn)可的美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E。以下是按照ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)對(duì)芯片凈化車間等級(jí)的具體劃分，今天就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來(lái)了解下吧!

　　一、等級(jí)劃分與標(biāo)準(zhǔn)

　　1、ISO 1級(jí)(Class 1)：

　　適用于最高級(jí)別的芯片制造，如微處理器、存儲(chǔ)器等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過0.1個(gè)每立方米(0.1個(gè)/?)。

　　2、ISO 2級(jí)(Class 10)：

　　適用于高級(jí)別的芯片制造，如模擬器件、光電器件等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過10個(gè)/?。

　　3、ISO 3級(jí)(Class 100)：

　　適用于一般的芯片制造，如數(shù)字器件、邏輯器件等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過100個(gè)/?。

　　4、ISO 4級(jí)(Class 1000)：

　　適用于較低級(jí)別的芯片制造，如傳感器、電容器等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過1000個(gè)/?。

　　5、ISO 5級(jí)(Class 10000)：

　　適用于一些較為簡(jiǎn)單的芯片制造，如LED、LCD等。

　　要求空氣中的微粒濃度不超過10000個(gè)/?。

　　6、ISO 6至ISO 9級(jí)：

　　這些級(jí)別主要用于對(duì)潔凈度要求不高的工業(yè)應(yīng)用。

　　在這些環(huán)境中，雖然會(huì)采取一定的空氣凈化措施，但空氣中的顆粒物濃度相對(duì)較高，不適合高精度芯片制造。

　　二、等級(jí)選擇與應(yīng)用

　　在芯片制造過程中，不同的工藝步驟對(duì)潔凈度的要求不同。例如：

　　光刻、刻蝕、離子注入等關(guān)鍵步驟：這些步驟對(duì)潔凈度的要求極高，任何微小的污染都可能導(dǎo)致芯片缺陷。因此，這些步驟通常在ISO 4至ISO 6級(jí)的潔凈間中進(jìn)行。

　　芯片測(cè)試：測(cè)試環(huán)節(jié)對(duì)潔凈度的要求也較高，通常需要在ISO 5(Class 100)級(jí)或更高級(jí)別的潔凈間中進(jìn)行，以確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。

　　三、潔凈度控制措施

　　為了確保芯片凈化車間的潔凈度達(dá)到要求，需要采取一系列控制措施，包括：

　　高效的空氣過濾系統(tǒng)：如HEPA過濾器和ULPA過濾器等，可以過濾掉空氣中的微粒和細(xì)菌。

　　正壓控制：通過保持車間內(nèi)部的正壓，防止外部污染物進(jìn)入。

　　溫濕度精密調(diào)控：確保車間內(nèi)的溫度和濕度處于穩(wěn)定狀態(tài)，以避免對(duì)芯片制造過程產(chǎn)生不良影響。

　　表面清潔系統(tǒng)：包括干燥氣體清洗、離子束清洗和化學(xué)清洗等，用于去除表面的微粒、細(xì)菌和化學(xué)物質(zhì)。

　　人員潔凈系統(tǒng)：要求人員穿著潔凈服、潔凈鞋和潔凈帽等，以防止人員身上的微粒、細(xì)菌和化學(xué)物質(zhì)進(jìn)入車間。

　　綜上所述，芯片凈化車間的等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn)是根據(jù)空氣中允許的顆粒物數(shù)量和大小來(lái)確定的，不同的工藝步驟和測(cè)試環(huán)節(jié)對(duì)潔凈度的要求不同，因此需要采取相應(yīng)的控制措施來(lái)確保潔凈度達(dá)到要求。