潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
芯片廠房無塵車間的建設規(guī)范與施工要點對于確保電子芯片制造的質量至關重要。以下是合潔科技電子潔凈工程公司對這些要點的詳細歸納:
一、建設規(guī)范
1、空氣潔凈度要求:無塵車間的空氣潔凈度需達到一定級別,如ISO 7級或更高級別,以減少塵埃和污染物對電子芯片的影響。垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%。
2、溫濕度控制:車間內的溫度和濕度需保持恒定,以確保電子芯片制造過程中材料性能的穩(wěn)定性和制造設備的正常運行。半導體(FAB)潔凈室中相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄范圍內。
3、防靜電措施:由于電子芯片對靜電非常敏感,因此無塵車間應采取有效的防靜電措施,如鋪設防靜電地板、提供防靜電工作服等。
4、安全與環(huán)保:無塵車間應符合國家和地方的安全與環(huán)保標準,確保生產過程中的安全與環(huán)保。
二、施工要點
1、現(xiàn)場勘察與方案設計:對車間進行實地勘察,了解車間布局、設備配置和潔凈度要求,制定詳細的施工方案。
2、材料準備:
地面材料:無塵車間的地面材料應具有防滑、防靜電、耐腐蝕等特性,可采用環(huán)氧樹脂地板或抗靜電瓷磚等材料。
墻面材料:無塵車間的墻面材料應具有抗菌、易清潔等特性,可采用不銹鋼板或PVC板等材料。墻面與地面的交點處應做一個半徑為50mm的圓弧,以減少灰塵堆積,便于清掃。
頂棚材料:無塵車間的頂棚材料應具有防火、防水、保溫等特性,可采用鋁合金板或石膏板等材料。
3、車間布局改造:按照設計方案,對車間進行布局改造,確保各區(qū)域功能明確,互不干擾。
4、空氣凈化系統(tǒng)安裝:無塵車間應設置空氣凈化系統(tǒng),包括空氣過濾器、風機、空調等設備,確保空氣的潔凈度和濕度。換氣次數(shù)不低于5次/小時。與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa。
5、照明系統(tǒng)設置:無塵車間的照明系統(tǒng)應具有高亮度、低眩光等特性,可采用LED燈具或熒光燈具等。燈具的安裝位置應避免產生陰影和眩光,保證工作區(qū)域的照明均勻。
6、設備安裝與調試:無塵車間應選擇先進的生產設備,包括半導體芯片制造設備、檢測設備等,并確保其正常運行。同時,應合理布置送風口和回風口的位置。
7、清潔與驗收:對車間進行全面清潔,確保無塵、無雜物。組織相關人員進行驗收,確保各項指標達到要求。
三、其他注意事項
1、安全與環(huán)保措施:在施工過程中,應嚴格執(zhí)行國家相關安全環(huán)保法規(guī),確保施工過程安全、環(huán)保。使用環(huán)保材料,減少裝修過程中對環(huán)境的影響。設置專人負責安全管理,定期進行安全檢查和培訓。
2、維護與保養(yǎng):建立完善的維護與保養(yǎng)制度,定期對無塵車間的各項設施進行檢查、清潔和維護,確保其正常運行和使用效果。
綜上所述,芯片廠房無塵車間的建設規(guī)范與施工要點涉及多個方面,需要綜合考慮工藝要求、環(huán)境控制、安全與環(huán)保等因素。通過科學合理的設計和施工,能夠建設出高效、安全、環(huán)保的電子芯片無塵車間,為企業(yè)的可持續(xù)發(fā)展提供有力保障。