潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
百級芯片潔凈車間的換風(fēng)系統(tǒng)排風(fēng)設(shè)計是確保車間內(nèi)空氣質(zhì)量、維持潔凈度等級的重要環(huán)節(jié)。以下是合潔科技電子凈化工程公司關(guān)于百級芯片潔凈車間換風(fēng)系統(tǒng)排風(fēng)設(shè)計的詳細(xì)說明:
一、排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計原則
1、遵循規(guī)范:排風(fēng)系統(tǒng)的設(shè)計需要嚴(yán)格遵循相關(guān)的國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),如《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073-2013等。
2、工藝需求:深入了解芯片生產(chǎn)工藝,熟悉產(chǎn)塵、產(chǎn)熱的特點,制訂出有效的捕塵、排氣(熱)方案,確保不影響生產(chǎn)工藝操作。
3、節(jié)能環(huán)保:在保證潔凈度的同時,考慮系統(tǒng)的節(jié)能性和環(huán)保性,降低能耗和排放。
二、排風(fēng)方式
百級芯片潔凈車間的排風(fēng)方式主要分為局部排風(fēng)和全面排風(fēng)兩種:
1、局部排風(fēng):
定義:局部排風(fēng)系統(tǒng)通過各種類型的排風(fēng)罩、風(fēng)管、凈化空氣設(shè)備、風(fēng)機等組成,針對車間內(nèi)局部工藝設(shè)備產(chǎn)生的有害物進(jìn)行捕集和處理。
優(yōu)點:可以有效地控制有害物的擴散,保證工作區(qū)不被污染,投資較小,經(jīng)濟可靠。
適用場景:適用于對車間內(nèi)局部工藝設(shè)備產(chǎn)生有害物的處理和排放。
2、全面排風(fēng):
定義:全面排風(fēng)又稱稀釋通風(fēng),通過送入足夠量的經(jīng)過處理的清潔新鮮空氣來稀釋車間內(nèi)的有害物質(zhì)濃度,并不斷將有害物質(zhì)經(jīng)處理后排出室外。
優(yōu)點:可以全面改善車間內(nèi)的空氣質(zhì)量,適用于局部排風(fēng)無法有效控制有害物質(zhì)擴散的情況。
適用場景:當(dāng)采用局部通風(fēng)系統(tǒng)無法滿足潔凈度要求時,采用全面通風(fēng)作為補充或替代方案。
三、排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計要點
1、排風(fēng)口設(shè)置:
排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在有害物濃度較高的區(qū)域,并避免對車間內(nèi)其他區(qū)域造成污染。
排風(fēng)口與送風(fēng)口的距離應(yīng)適當(dāng),以防止氣流短路,一般建議保持至少3米的距離。
2、風(fēng)管布置:
風(fēng)管布置應(yīng)盡量減少局部阻力,如彎管、三通、變徑等數(shù)量應(yīng)盡可能少。
彎管的中心曲率半徑不應(yīng)小于風(fēng)管直徑或邊長的1.25倍。
風(fēng)管分支點前后應(yīng)預(yù)留測壓孔,以便于系統(tǒng)調(diào)試和后續(xù)維護(hù)。
3、排風(fēng)設(shè)備:
根據(jù)車間面積、換氣次數(shù)和有害物濃度等參數(shù),選擇合適的排風(fēng)設(shè)備和凈化設(shè)備。
排風(fēng)設(shè)備應(yīng)具有高效、低噪、易維護(hù)等特點,以確保系統(tǒng)長期穩(wěn)定運行。
4、系統(tǒng)控制:
采用自動化控制系統(tǒng)對排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行監(jiān)控和調(diào)節(jié),以確保系統(tǒng)始終處于最佳運行狀態(tài)。
可以通過設(shè)置風(fēng)量調(diào)節(jié)閥、壓力傳感器等裝置,實現(xiàn)系統(tǒng)風(fēng)量的精確控制和調(diào)節(jié)。
四、注意事項
1、防止交叉污染:在排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計時,應(yīng)防止不同介質(zhì)之間的交叉污染,確保系統(tǒng)的安全性和可靠性。
2、考慮環(huán)保要求:排風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)丨h(huán)保部門的要求,對排放的有害物質(zhì)進(jìn)行處理和達(dá)標(biāo)排放。
3、系統(tǒng)維護(hù):定期對排風(fēng)系統(tǒng)進(jìn)行清洗、檢查和維護(hù),確保系統(tǒng)的高效運行和延長使用壽命。
綜上所述,百級芯片潔凈車間的換風(fēng)系統(tǒng)排風(fēng)設(shè)計需要綜合考慮生產(chǎn)工藝需求、潔凈度要求、節(jié)能環(huán)保等因素,采用科學(xué)合理的排風(fēng)方式和設(shè)計要點,確保車間內(nèi)空氣質(zhì)量的穩(wěn)定和達(dá)標(biāo)。