潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
百級集成電路無塵車間的建設(shè)布局是一個復(fù)雜而精細的過程,涉及多個方面的考慮。以下是合潔科技電子凈化工程公司對該過程的一個全面概述:
一、選址與前期規(guī)劃
1、選址原則:需考慮周邊環(huán)境、地質(zhì)條件、交通便捷度等因素,盡量避免在工業(yè)區(qū)、市區(qū)等人口密集區(qū)域建設(shè),以防工業(yè)廢氣、廢水對周邊居民造成危害。
2、前期規(guī)劃:明確車間的生產(chǎn)工藝流程、潔凈度要求、設(shè)備布局等,為后續(xù)的詳細設(shè)計提供基礎(chǔ)。
二、布局設(shè)計
1、分區(qū)設(shè)計:
潔凈區(qū)域劃分:根據(jù)生產(chǎn)工藝和潔凈度要求,將車間劃分為不同的潔凈區(qū)域,如百級區(qū)、千級區(qū)等,確保各區(qū)域之間的隔離和銜接。
緩沖區(qū)設(shè)置:在潔凈區(qū)域之間設(shè)置緩沖區(qū)或傳遞窗等設(shè)施,以減少不同區(qū)域之間的交叉污染。
2、流線布局:按照生產(chǎn)流程進行布局,確保生產(chǎn)流程的順暢和生產(chǎn)效率的提高。同時,注意人流和物流的分離,避免交叉污染。
3、空氣流動設(shè)計:遵循空氣流動的原則進行布局,確??諝饬鲃拥捻槙澈蜐崈舳鹊奶岣?。合理設(shè)置新風口、排風口和空氣循環(huán)系統(tǒng),保持車間內(nèi)空氣的新鮮度和潔凈度。
三、空氣凈化系統(tǒng)
1、系統(tǒng)組成:包括高效過濾器、空氣循環(huán)系統(tǒng)、新風口和排風口等組件。系統(tǒng)應(yīng)能夠有效去除空氣中的塵埃、微生物和其他污染物,確保車間內(nèi)空氣潔凈度達到百級標準。
2、設(shè)計要點:在設(shè)計過程中,需要考慮到空氣流動的方向、速度和均勻性,以及過濾器的更換周期和維護保養(yǎng)等問題。同時,還需考慮空氣凈化系統(tǒng)與車間整體布局的協(xié)調(diào)性。
四、材料選擇
1、地面材料:選擇防靜電、防滑、易清洗的地面材料,如防靜電地板。這些材料能夠有效防止靜電產(chǎn)生和塵埃積累,保持車間的潔凈度。
2、墻面材料:選擇防靜電、耐腐蝕、易清潔的墻面材料,如防靜電涂料或防靜電瓷磚。這些材料能夠抵抗化學物質(zhì)侵蝕和塵埃附著,保持墻面的潔凈和美觀。
3、天花板材料:天花板主要用于隱藏電纜和通風管道等設(shè)施,因此應(yīng)選擇防火、防潮的材料。同時,有些無塵車間的天花板還需裝設(shè)風淋室等設(shè)施,以保持恒定的潔凈度。
4、門窗材料:門窗必須具有防靜電、防侵蝕、密封性好等功能。一些高端的無塵車間還需使用帶有空氣鎖的門,以保持恒定的潔凈度。
五、施工工藝
1、施工規(guī)范:在施工過程中,應(yīng)遵循嚴格的施工規(guī)范和操作流程,確保施工質(zhì)量符合要求。例如,在墻面施工中,應(yīng)使用無塵打磨機進行打磨;在地面施工中,應(yīng)使用專用的吸塵器進行清潔等。
2、防止污染:注意防止交叉污染和二次污染等問題。在施工過程中,應(yīng)采取有效措施保護已完成的潔凈區(qū)域不受污染。
六、監(jiān)測與維護
1、監(jiān)測體系:建立完善的監(jiān)測體系,對車間內(nèi)的空氣質(zhì)量、溫度、濕度等參數(shù)進行實時監(jiān)測和記錄。這有助于及時發(fā)現(xiàn)和解決問題,確保車間的穩(wěn)定運行。
2、維護保養(yǎng):定期對空氣凈化系統(tǒng)、地面、墻面、天花板等設(shè)施進行清潔和維護保養(yǎng)。這有助于保持車間的潔凈度和設(shè)備的正常運行。
綜上所述,百級集成電路無塵車間的建設(shè)布局是一個綜合考慮多個因素的復(fù)雜過程。通過科學合理的規(guī)劃、設(shè)計、施工和維護保養(yǎng)等措施,可以確保車間達到預(yù)期的潔凈度和生產(chǎn)要求。