隨著計算機、微電子和信息技術的發(fā)展，推動了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展，也帶動了無塵車間潔凈室技術的發(fā)展，同時對潔凈室的設計提出了更高的要求，電子制造業(yè)的無塵車間施工設計是一項綜合的技術，只有充分了解電子制造業(yè)的無塵車間設計特點，做到設計合理，才能讓電子制造產業(yè)的產品次品率降低，提高生產效率。

　　例如在半導體集成電路生產的光刻工序中，硅片露出在生產環(huán)境中，污染概率很高時元器件的廢品率也會很高，所以為避免出現這種傷害，現階段在超大規(guī)模半導體集成電路的潔凈廠房中一般選用微環(huán)境，把加工工藝核心區(qū)隔離，在微環(huán)境的隔離區(qū)內做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制規(guī)定。

　　目前國內的集成電路制造公司、廠家是按照各自生產的產品、選用的生產工藝技術、生產設備、生產用原輔料以及潔凈室的實踐經驗等來確定潔凈廠房的各潔凈度等級。所采用的技術方案、技術措施均各具特色、不盡相同。今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下半導體凈化車間的特點標準及建設方案吧!

　　半導體凈化車間的特點：

　　潔凈度等級要求高，風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控，照度、潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求、濕度要求都極其嚴格，因為過于干燥的廠房內極易產生靜電。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定)。 這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

　　半導體車間潔凈室的施工要求：

　　由于電子產品在制造、生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

　　例如

　　1、電子制造廠萬級潔凈室內的噪聲級(空態(tài))：不應大于65dB(A)

　　2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

　　3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa

　　4、補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

　　5、保證供給無塵車間潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

　　6、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調系統(tǒng)加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。