潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
在半導體潔凈車間中,噪音控制是非常重要的,因為噪音可能會對生產(chǎn)設備、工作人員和產(chǎn)品質量造成影響。以下是合潔科技電子凈化工程關于半導體潔凈車間噪音標準和規(guī)范的一般性指導:
一、半導體潔凈車間噪音標準和規(guī)范:
1、ISO 14644標準:
ISO 14644系列標準是關于半導體潔凈車間和相關受控環(huán)境的國際標準,其中也包含了對噪音水平的一些要求。這些標準通常規(guī)定了潔凈室內的噪音水平限制,以確保生產(chǎn)環(huán)境符合特定的潔凈度等級要求。
2、國家標準:
不同國家可能有針對噪音控制的具體標準和規(guī)范,例如對于工業(yè)環(huán)境中的噪音限制。在設計和運行半導體潔凈車間時,應遵守所在國家的相關標準。
3、設備噪音控制:
在選擇和安裝生產(chǎn)設備時,應考慮設備本身的噪音水平,并選擇低噪音的設備。此外,可以采取吸音、隔音措施,以減少設備產(chǎn)生的噪音傳播。
4、工藝控制:
優(yōu)化生產(chǎn)工藝,減少可能產(chǎn)生噪音的環(huán)節(jié),如減少機械振動、避免沖擊噪音等。
5、隔音設計:
對于半導體潔凈車間的設計,應考慮隔音措施,如使用吸音材料、隔音墻壁等,以減少外部噪音對車間內部的影響。
6、定期檢測和監(jiān)測:
定期對潔凈車間內的噪音水平進行監(jiān)測和檢測,確保噪音控制在合適的范圍內,并及時采取措施進行調整。
7、員工培訓:
對工作人員進行噪音危害的培訓,教育他們如何正確佩戴耳塞或耳罩等個人防護設備,以減少長期暴露于噪音環(huán)境下可能帶來的健康風險。
二、半導體潔凈車間的建設應注意以下幾點:
1、因技術經(jīng)濟條件限制,或噪聲超過70分貝且不影響生產(chǎn)的,可適當降低噪聲級,但不應超過75分貝。
2、以上噪聲級是指在室內各工作點的人耳位置(人在遠處)的測量值。對于波動噪聲,在正常工作日期間在同一位置獲得等效的連續(xù)聲壓級。
a、半導體潔凈車間噪聲頻譜限值宜采用倍頻帶聲級,各頻帶聲壓級不應超過1級。
b、半導體潔凈車間規(guī)劃和斷面布置應考慮噪聲控制要求,圍護結構應具有良好的隔聲性能,各斷面隔聲效果應不相近。
c、半導體潔凈車間中的各類設備應采用低噪音產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備,必須配備專用隔聲設備(隔聲室、隔聲罩等)。
d、半導體潔凈車間凈化空調系統(tǒng)噪聲超過允許值時,應采取隔聲、消聲、隔音等控制措施。除了意外排氣外,潔凈室的排氣系統(tǒng)也需要進行降噪設計。
綜合考慮以上因素,半導體潔凈車間應該遵循相關的噪音標準和規(guī)范,通過設備選擇、工藝控制、隔音設計等措施,有效控制噪音水平,保障生產(chǎn)環(huán)境的安靜和員工的健康。