集成電路凈化工程設(shè)計案例：一般要采用FFU凈化系統(tǒng)因為具有靈活性，可適應(yīng)工藝變化，當(dāng)工藝發(fā)展需要提高空氣潔凈度級別時，采取增加FFU數(shù)量或更換更高效率的過濾器就可達(dá)到提高潔凈度等級的目的。FFU采用負(fù)壓密封使其簡化而可靠，也就是說，潔凈區(qū)內(nèi)的空氣壓力大于送風(fēng)靜壓箱內(nèi)的空氣壓力，這就極大地降低了塵埃微粒通過縫隙進(jìn)入潔凈室的幾率。此外，采取這種方式也可大大節(jié)省空調(diào)機(jī)房的面積。今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下集成電路凈化工程應(yīng)該怎么設(shè)計裝修吧!

　　項目背景：

　　一家電子廠計劃建設(shè)一座潔凈室用于集成電路生產(chǎn)，要求潔凈室內(nèi)空氣質(zhì)量高，能夠達(dá)到特定的潔凈度等級，以確保生產(chǎn)過程中的產(chǎn)品質(zhì)量和穩(wěn)定性。

　　設(shè)計要求：

　　1、潔凈度等級：要求達(dá)到ISO 14644標(biāo)準(zhǔn)中的特定潔凈度等級，如ISO 7級。

　　2、空氣流量：根據(jù)潔凈室的大小和用途確定合適的空氣流量，確?？諝獾难h(huán)和凈化效果。

　　3、空氣循環(huán)設(shè)計：設(shè)計合理的空氣循環(huán)系統(tǒng)，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、出風(fēng)口、回風(fēng)口、排風(fēng)口和新風(fēng)口的設(shè)置。

　　4、溫濕度控制：確保潔凈室內(nèi)溫濕度穩(wěn)定，適合集成電路生產(chǎn)的要求。

　　5、靜電控制：考慮靜電對集成電路生產(chǎn)的影響，設(shè)計靜電控制措施，如地板材料選擇、靜電消除設(shè)備等。

　　6、設(shè)備維護(hù)：設(shè)計易于維護(hù)和清潔的設(shè)備和設(shè)施，保證潔凈室長期穩(wěn)定運行。

　　設(shè)計方案：

　　1、空調(diào)系統(tǒng)：選擇高效的凈化空調(diào)系統(tǒng)，包括過濾器、風(fēng)道、送風(fēng)口和回風(fēng)口，確?？諝鈨艋Ч涂諝饬鲃泳鶆?。

　　2、空氣過濾：設(shè)置多級過濾系統(tǒng)，包括初效過濾器、中效過濾器和高效過濾器，以去除空氣中的顆粒物和微生物。

　　3、空氣循環(huán)：合理設(shè)置出風(fēng)口、回風(fēng)口、排風(fēng)口和新風(fēng)口，保證空氣循環(huán)和凈化效果，避免死角和死區(qū)。

　　4、溫濕度控制：安裝恒溫恒濕設(shè)備，監(jiān)控和調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的溫濕度，確保生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定。

　　5、靜電控制：選擇防靜電地板、靜電消除設(shè)備等措施，減少靜電對集成電路生產(chǎn)的影響。

　　6、 暖通工程 ：采用新風(fēng)集中處理機(jī)組(MAU)+風(fēng)機(jī)過濾單元(FFU)+干式冷盤管(DDC)的方式，其空氣處理過程為：循環(huán)風(fēng)經(jīng)設(shè)置在一層的干式冷卻盤管冷卻后，進(jìn)入上部送風(fēng)靜壓箱，與處理后的新風(fēng)混合，經(jīng)FFU加壓、過濾后送入生產(chǎn)區(qū)。

　　結(jié)果與效益：

　　通過以上設(shè)計方案的實施，集成電路凈化車間可以達(dá)到預(yù)期的潔凈度等級要求，確保集成電路生產(chǎn)過程中的空氣質(zhì)量和生產(chǎn)環(huán)境穩(wěn)定性，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)過程中的污染風(fēng)險，為電子廠的生產(chǎn)提供良好的生產(chǎn)環(huán)境和條件。