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晶圓無塵車間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需滿足哪些條件

2024-03-04
共有3995家企業(yè)看過

  現(xiàn)如今,許多工廠為了能夠把產(chǎn)品的質(zhì)量發(fā)展到最大化,都建造了無塵車間來滿足產(chǎn)品生需求產(chǎn),但設(shè)計(jì)一個(gè)晶圓無塵車間不是簡單的事情。今天合潔科技電子凈化工程小編就為大家介紹晶圓無塵車間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)需滿足哪些條件吧!

  晶圓無塵車間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)一般要滿足以下幾方面的條件:

  1、給予晶圓無塵車間足量的潔凈空氣的稀釋、去除在生產(chǎn)時(shí)和人員所污染的空氣,使車間的塵、菌達(dá)到規(guī)定的要求。

  2、帶走晶圓無塵車間的余熱、余濕,或補(bǔ)給車間所需的熱量、濕量,以維持晶圓無塵車間的設(shè)計(jì)溫度、濕度。這一點(diǎn)和其它空調(diào)系統(tǒng)是一致的,仍然是其主要任務(wù)之一。

  3、供給晶圓無塵車間充足的室外新鮮空氣,使車間的空氣品質(zhì),符合人們正常工作所需的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。

  4、補(bǔ)給足夠量的清潔空氣稀釋車間的有害物濃度,如工藝過程中散發(fā)的易燃、易爆有機(jī)溶劑和有害氣體,以確保車間空氣中的有害物濃度低于相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的最高容許濃度。


晶圓無塵車間


  5、根據(jù)工藝要求,通過送、回、排風(fēng)量的不同匹配,以維持車間相對于室外或鄰室,或走道一定的正壓值或負(fù)壓值。以控制相鄰空間氣流或污染物的流向。

  6、采取相應(yīng)的隔離、局部排風(fēng)等措施,防止工藝產(chǎn)生的粉塵、大量余熱、余濕等有害物在車間擴(kuò)散。

  7、設(shè)置必要的分離、收集裝置,既防止由車間排出去的有害物質(zhì)污染大氣,又可回收部分排風(fēng)帶走的可利用藥塵。

  在設(shè)計(jì)晶圓無塵車間空調(diào)通風(fēng)系統(tǒng)時(shí),需要綜合考慮以上條件,確保系統(tǒng)能夠有效地滿足晶圓生產(chǎn)的要求,提高生產(chǎn)效率,保障產(chǎn)品質(zhì)量。建議在設(shè)計(jì)階段與專業(yè)的空氣處理工程師或公司合作,以確保系統(tǒng)設(shè)計(jì)符合標(biāo)準(zhǔn)和要求。

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