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電子廠生產工藝對無塵車間環(huán)境的要求

2023-12-20
共有5020家企業(yè)看過

  有很多電子工廠都離不開潔凈的生產環(huán)境,那么,電子工廠生產工藝對無塵車間環(huán)境有什么要求呢?今天就隨合潔科技電子潔凈工程公司一起來了解下吧!

  電子工廠如大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)等微電子(IC)工廠;液晶顯示器(LCD)、彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)、等離子顯示器(PDP)以及發(fā)光二極管(LED)、有機電致發(fā)光顯示器(OLED)、高分子有機電致發(fā)光顯示器(PLED)等光電子工廠都離不開潔凈的生產環(huán)境。生產所要求的環(huán)境不僅僅有:建筑圍護、結構、空氣、水以及氣體、溶劑等原材料,而且還有聲、光、電、磁、振等各種環(huán)境。例如:建筑的形式和層高、結構的承重、圍護結構的裝修材料;環(huán)境空氣的潔凈度、溫濕度、靜壓力;水和氣體的純度和粒子、重金屬的含量以及環(huán)境的噪聲、照度、靜電、電磁屏蔽、微振等等。

  1、面積大:生產工藝要求潔凈室的面積越來越大。就拿彩色薄膜液晶顯示器(TFT-LCD)生產用潔凈室的面積來說,5代TFT生產用潔凈室的面積約28000m2;6代TFT潔凈室的面積約40000m2;到了8代TFT生產用單間潔凈室的面積就大到80000m2以上。


電子潔凈工程


  2、潔凈度高:電子工廠,尤其是微電子(IC)前工序和光電子(TFT-LCD)前工序的潔凈室對環(huán)境潔凈度的要求越來越高。例如,12時園片超大規(guī)模集成電路前工序光刻間的潔凈度要求高達1級(0.1um)也就是每立方英尺空氣中≥0.1um的粒子數(shù)不能超過1顆。相當于ISO1級。

  3、精度高:電子工廠生產工藝對環(huán)境空氣溫、濕度的控制精度要求越來越高。還以上述微電子的光刻間為例:其溫度精度為士0.1℃,相對濕度的精度為士3%。

  4、純度要求高:大規(guī)模集成電路前工序對生產用的高純水、高純氣體以及高純溶劑的純度要求越來越純。例如:對高純水而言,不僅對其電阻率有要求,而且對高純水中所含粒子、細菌、重金屬以及其他元素的離子成份都有嚴格的要求,隨著生產工藝的發(fā)展,對其純度的要求也越來越高??芍^純之又純。

  5、要求更嚴格:電子工業(yè)生產不僅對環(huán)境的潔凈度,溫、濕度有嚴格的要求,同時對環(huán)境的聲(噪聲)、光(照度)、電(靜電)、磁(電磁場屏蔽)、振(微振)等都有嚴格的要求。尤其微電子生產,對環(huán)境的分子級污染提出了新的嚴格的要求。分子污染是指環(huán)境空氣中要嚴格控制例如鈉(Na)元素、碳(COx)元素、硫(SOx)元素、(NOx)元素等對半導體工藝有害的元素。因此在處理空氣時還要用淋水(淋自來水、淋純凈水)來吸收室外空氣中的有害分子成份和用化學過濾器來吸附新風中的有害分子成份。

  正因為電子廠無塵車間的生產工藝對潔凈環(huán)境提出了更高的要求,所以電子無塵車間的裝修建設難度也越來越大,為此,一定要找靠譜專業(yè)的凈化工程公司來進行專業(yè)的裝修建設,否則電子無塵車間但凡有一點不達標,帶來的后果就是很嚴重的。

EPC無塵凈化工程案例

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