集成電路制造業(yè)是一個在超凈化環(huán)境中，使用超純材料進行超微細加工的產(chǎn)業(yè)，所以潔凈技術在半導體集成電路行業(yè)應用也是很廣的。今天就隨合潔科技電子凈化工程公司一起來了解下半導體集成電路的潔凈技術的應用吧!

　　1、集成電路生產(chǎn)中主要污染物的來源

　　集成電路生產(chǎn)中的這些主要污染物可能來源于空氣 、水、各種氣體、化學試劑 、工作環(huán)境、電磁環(huán)境噪聲以及微振動、操作人員、使用的工具、器具等。

　　2、集成電路生產(chǎn)中的潔凈環(huán)境

　　實現(xiàn)集成電路潔凈生產(chǎn)，主要包括如下幾方面內容：集成電路潔凈廠房設計與施工、操作環(huán)境與操作人員管理、高純氣體與純化、高純化學試劑與稀釋、超純水系統(tǒng)、硅片與工器具清洗等。在長期的實踐中，對于不同的加工線寬所需要的潔凈生產(chǎn)環(huán)境，如空氣潔凈度、化學試劑、高純氣體、超純水等，許多國家和地區(qū)都頒布了相關的標準。而操作環(huán)境與操作人員管理、硅片與工器具清洗方面，各廠家也都有嚴格的規(guī)范和操作程序，以保證集成電路產(chǎn)品的成品率、產(chǎn)品的性能和產(chǎn)品的可靠性。

　　潔凈廠房的主要指標有：空氣中粒子粒徑和粒子數(shù)目、潔凈室的壓力、溫濕度、風速與換氣率、

　　照度等。集成電路生產(chǎn)環(huán)境所控制的粒子粒徑，一般為圖形線寬的 1/10-1/5。如1微米線寬的集成電路，所需控制的粒子粒徑為0.1—0.2微米。

　　3、集成電路生產(chǎn)過程中的潔凈技術

　　集成電路生產(chǎn)中，在潔凈室、操作環(huán)境的凈化級別以及生產(chǎn)所使用的材料、化學試劑、高純氣體、超純水純度都符合要求的情況下，操作環(huán)境的科學管理以及大量的清洗就成為日常最為重要的工作。集成電路潔凈室的污染來源，經(jīng)測試分析表明，來自操作人員的約占80%，通風占 15%，廠房建筑 占5%，所以應特別加強對于操作人員的管理。

　　具體措施有：一是要加強對操作人員的教育與訓練，二是進入潔凈室的人員必須達到潔凈度標準、進入潔凈室人員的數(shù)目保持最少限度 ，三是操作人員在潔凈室的行為要符合規(guī)范 ，如保持自己各方面 的干凈和清潔，與工作無關的私人談話應盡量避免，工器具須放在箱子或柜子中，并放置于一定的場所等。

　　至于為減少通風與廠房建筑方面造成的污染而應采取的措施有：一是防止外部塵埃侵入，二是室內不形成塵埃的沉積，三是防止室內塵埃揚起，四是一旦塵埃揚起，能盡快地排除。