第一章  總則
    第1.0.1條  潔凈廠房設計必須貫徹執(zhí)行國家的有關方針政策，做到技術先進、經(jīng)濟合理、安全適用、確保質量、符合節(jié)約能源和環(huán)境保護的要求。
    第1.0.2條  本規(guī)范適用于新建和改建、擴建的潔凈廠房設計，但不適用于以細菌為控制對象的生物潔凈室。本規(guī)范有關防火和疏散、消防設施章節(jié)的規(guī)定，不適用于建筑高度超過24米的高層潔凈廠房和地下潔凈廠房的設計。
    第1.0.3條  在利用原有建筑進行潔凈技術改造時，潔凈廠房設計必須根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，因地制宜、區(qū)別對待，充分利用已有的技術設施。
    第1.0.4條  潔凈廠房設計應為施工安裝、維護管理、檢修測試和安全運行創(chuàng)造必要的條件。
    第1.0.5條  潔凈廠房設計除應按本規(guī)范執(zhí)行外，尚應符合現(xiàn)行的國家標準、規(guī)范的有關要求。 
 
        第二章  空氣潔凈度等級
    第2.0.1條  空氣潔凈度應按表2.0.1規(guī)定劃分為四個等級。
                      空氣潔凈度    表2.0.1
┌────┬──────────┬─────────┐  
│等級    │每立方米(每升)空氣│每立方米(每升)空│  
│        │中≥0.5微米塵粒數(shù)   │氣中≥5微米塵粒數(shù) │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│100級   │≤35×100(3.5)    │                  │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│1000級  │≤35×1000(35)    │≤250(0.25)     │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│10000級 │≤35×10000(350)  │≤2500(2.5)     │  
├────┼──────────┼─────────┤  
│100000級│≤35×100000(3500)│≤5000(25)      │  
└────┴──────────┴─────────┘
注: 對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內大于等于5微米塵粒的計數(shù)，應進行多次采樣，當其多次出現(xiàn)時，方可認為該測試數(shù)值是可靠的.
    第2.0.2條  潔凈室空氣潔凈度等級的檢驗，應以動態(tài)條件下測試的塵粒數(shù)為依據(jù)。潔凈室空氣潔凈度的測試，應符合附錄二規(guī)定。        
        第三章  總體設計
        第一節(jié)  潔凈廠房位置選擇和總平面布置
    第3.1.1條  潔凈廠房位置的選擇，應根據(jù)下列要求并經(jīng)技術經(jīng)濟方案比較后確定：
    一、應在大氣含塵濃度較低，自然環(huán)境較好的區(qū)域;
    二、應遠離鐵路、碼頭、飛機場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場等有嚴重空氣污染、振動或噪聲干擾的區(qū)域，如不能遠離嚴重空氣污染時，則應位于其最大頻率風向上風側，或全年最小頻率風向下風側;
    三、應布置在廠區(qū)內環(huán)境清潔、人流貨流不穿越或少穿越的地區(qū)。
    第3.1.2條  對于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應與精密設備、精密儀器儀表允許環(huán)境振動值進行分析比較。
    第3.1.3條  潔凈廠房最大頻率風向上風側有煙囪時，潔凈廠房與煙囪之間的水平距離不宜小于煙囪高度的12倍。
    第3.1.4條  潔凈廠房與交通干道之間的距離不宜小于50米。
    第3.1.5條  潔凈廠房周圍宜設置環(huán)形消防車道(可利用交通道路)。如有困難時，可沿廠房的兩個長邊設置消防車道。
    第3.1.6條  潔凈廠房周圍的道路面層，應選用整體性好、發(fā)塵少的材新。
    第3.1.7條  潔凈廠房周圍應進行綠化?？射佒膊萜?、種植對大氣含塵濃度不產(chǎn)生有害影響的樹木，并形成綠化小區(qū)，但不得防礙消防操作。 
 
第二節(jié)  工藝布置和設計綜合協(xié)調
    第3.2.1條  工藝布置應符合下列要求：
    一、工藝布置合理、緊湊。潔凈室或潔凈區(qū)內只布置必要的工藝設備以及有空氣潔凈度等級要求的工序和工作室;
    二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，空氣潔凈度高的潔凈室或潔凈區(qū)宜靠近空氣調節(jié)機房;空氣潔凈度等級相同的工序和工作室宜集中布置;靠近潔凈區(qū)入口處宜布置氣潔凈度等級較低的工作室;
    三、潔凈室內要求空氣潔凈度高的工序應布置在上風側易產(chǎn)生污染的工藝設備應布置在靠近回風口位置;
    四、應考慮大型設備安裝和維修的運輸路線，并預留設備安裝口和檢修口;
    五、應設置單獨的物料入口，物料傳遞路線應最短，物料進入潔凈區(qū)之前必須進行清潔處理。
    第3.2.2條  潔凈廠房內宜少設隔間，但在下列情況下可予以分隔：
    一、按生產(chǎn)的火災危險性分類，甲、乙類與非甲、乙類相鄰的生產(chǎn)區(qū)段之間，或有防火分隔要求者;
    二、生產(chǎn)過程中產(chǎn)生較強噪聲或散發(fā)較多熱量、塵粒和有害氣體，且不能采取局部措施加以控制者;
    三、生產(chǎn)聯(lián)系少，并經(jīng)常不同時使用的兩個生產(chǎn)區(qū)段之間。
    第3.2.3條  潔凈廠房的平面和空間設計，宜將潔凈區(qū)、人員凈化、物料凈化和其他輔助用房進行分區(qū)布置。同時應考慮生產(chǎn)操作、工藝設備安裝和維修、
氣流組織型式、管線布置以及凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)等各種技術設施的綜合協(xié)調效果。
    第3.2.4條  潔凈廠房設計必須合理確定各種管線的平面位置和堅向標高。
    第3.2.5條  潔凈廠房內各種固定技術設施(如送風口、照明器、回風口、各種管線等)的布置，宜首先考慮凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的要求 
 
        第三節(jié)  噪聲控制
    第3.3.1條  潔凈室內的噪聲級，應符合下列要求：
    一、動態(tài)測試時，潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。
    二、空態(tài)測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A;層流潔凈室的噪聲級不應大于65分貝A。
    注：①由于技術經(jīng)濟條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產(chǎn)無影響時，噪聲級可適當放寬，但不宜大于75分貝A;
    ②上述噪聲級是指在室內每一個工作點人耳位置(人離開)的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個正常工作日內的等效連續(xù)聲壓級。
    第3.3.2條  潔凈室的噪聲頻譜限制，應采用倍頻程聲壓級;各頻帶聲壓級值不宜大于表3.3.2的規(guī)定。

 噪聲頻譜限制    表3.3.2

┌─────────┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┐  
│倍頻程\中心頻    │    │    │    │    │    │    │    │    │  
│    \高聲\率    │63  │125 │250 │500 │1000│2000│4000│8000│  
│潔凈\壓值\(赫)│    │    │    │    │    │    │    │    │  
│室分類\(分貝)  │    │    │    │    │    │    │    │    │  
├────┬────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│空態(tài)    │亂流    │79  │70  │63  │58  │55  │52  │50  │40  │  
│        ├────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│        │層流    │83  │74  │68  │63  │60  │57  │55  │54  │  
├────┴────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│動態(tài)              │87  │78  │72  │68  │65  │62  │60  │59  │  
└─────────┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┘
    第3.3.3條  潔凈廠房的平、剖面布置，應考慮噪聲控制的要求，其圍護結構應有良好的隔聲性能，并宜使各部分隔聲量相接近。
    第3.3.4條  潔凈室內的各種設備均應選用低噪聲產(chǎn)品。對于輻射噪聲超過潔凈室允許值的設備，應設置專用隔聲設施(如隔聲間、隔聲罩等)。
    第3.3.5條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)噪聲超過允許值時，應采取隔聲、消聲、隔振等控制措施。  除事故排風外，應對潔凈室內的排風系統(tǒng)進行減噪設計。
    第3.3.6條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)，根據(jù)室內噪聲級的要求，風管內風速宜按下列規(guī)定選用：
    一、總風管為6--10米/秒;
    二、無送、回風口的文風管為6～8米/秒;
    三、有送、回風口的文風管為3～6米/秒。
    第3.3.7條  潔凈廠房的噪聲控制設計必須考慮生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求，不用因控制噪聲而影響潔凈室的凈化條件。        
        第四節(jié)  微振控制
    第3.4.1條  潔凈廠房和周圍輔助性站房內有強烈振動的設備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道，應采取積極隔振措施。
    第3.4.2條  對潔凈廠房內外各類振源，應測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應與精密設備、精密儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的田振措施。
    第3.4.3條  精密設備、精密儀器儀表的隔振措施，應考慮減少發(fā)塵量、保持潔凈室內合理的氣流組織等要求。當采用空氣彈簧隔振臺座時，應對氣溫進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。 
            第四章  建筑
          第一節(jié)  一般規(guī)定
    第4.1.1條  潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應具有適當?shù)撵`活性。潔凈區(qū)的主體結構不宜采用內墻承重。
    第4.1.2條  潔凈室的高度以凈高控制，凈高應以100毫基本模數(shù)。
    第4.1.3條  潔凈廠房主體結構的耐久性與室內裝備和裝修水平相協(xié)調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能(地震區(qū)應符合抗震設計規(guī)定)。廠房變形縫應避免穿過潔凈區(qū)。
    第4.1.4條  送、回風管和其他管線需暗敷時，應設置技術夾層、技術夾道或地溝等;穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井。
    第4.1.5條  對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設計和構造的處理，應避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利影響。 
    第二節(jié)  人員凈化和物料凈化設施
    第4.2.1條  潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據(jù)需要設置生活用室和其他用室。
    第4.2.2條  人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設置。
    第4.2.3條  人員凈化用室和生活用室的設計，應符合下列要求：
    一、人員凈化用室的入口處，應設凈鞋器。
    二、存外衣室和潔凈工作服室應分別設置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應按設計人數(shù)每人設一柜。
    三、盥洗室應設洗手和烘干設備。水龍頭應按最大班人數(shù)每10人設一個。
    四、潔凈區(qū)不得設廁所。人員凈化用室內的廁所應設前室。
    五、空氣吸淋室應設在潔凈區(qū)人員入口處，并應與潔凈工作服室相鄰。單人空氣吹淋室按最大班人數(shù)每30人設一臺。當僅為100級垂直層流潔凈室時，可改
設氣閘室。  潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側應設旁通門。
    第4.2.4條  人流路線應避免往復交叉。人員凈化用室和生活用室的布置，一般按圖4.2.4的人員凈化程序進行布置。
    第4.2.5條  根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內人員凈化用室和生活用室的建筑面積應合理確定。一般可按潔凈區(qū)設計人數(shù)平均每人4～6平方米計算。
    第4.2.6條  潔凈工作服室內，對空氣凈化應有一定的要求。
    第4.2.7條  潔凈室的設備和物料出入口，應根據(jù)設備和物料的性質、形狀等待征設置物料凈化用室及其設施。物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中被污染。 
  第三節(jié)  防火和疏散

   第4.3.1條  潔凈廠房的耐火等級不應低于二級。吊頂材料應為非燃燒體，其耐火極限不宜小于0.25小時。
    第4.3.2條  潔凈廠房內一般的生產(chǎn)工作間的火災危險性，可按附錄三進行分類。
    第4.3.3條  甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間最大允許占地面積，單層廠房應為3，000平方米，多層廠房應為2，000平方米。
    第4.3.4條  甲、乙類生產(chǎn)或設置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室，其頂棚和壁板(包括內部填充物)應為非燃燒體。
    第4.3.5條  在一個防火區(qū)內的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域之間應設置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應頂板的耐火極限不應低于1小時，隔墻上的門窗耐火極限不應低于0.6小時。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙應采用非燃燒材料緊密填塞。
    第4.3.6條  技術豎井井壁應為非燃燒體，其耐火極限不應低于1小時。井壁上檢查門的耐火極限不應低于0.6小時;豎井內在各層或間隔一層樓板處，應采用相當于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔;穿過水平防火分隔的管線周圍空隙，應采用非燃燒材料緊密填塞。
    第4.3.7條  潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的安全出口的數(shù)量，均不應少于兩個。但符合下列要求者，可設置一個安全出口：
    一、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過50平方米，且同一時間內的生產(chǎn)人員總數(shù)不用過5人;
    二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國家現(xiàn)行的《建筑設計防火規(guī)范》的規(guī)定者。
    安全出口應分散均勻布置，從生產(chǎn)地點至安全出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化路線。
    第4.3.8條  潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的安全疏散門應向疏散方向開啟。安全疏散門不得采用吊門、轉門、側拉門以及電控自動門。
    第4.3.9條  當潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗，其洞口間距大于80米時，則應在該段外墻的適當部位設置專用消防口。
    專用消防口的寬度不應小于750毫米，高度不應小于1800毫米，并應有明顯標志。
    樓層的專用消防口應附設陽臺，并從二層起向上設爬樓。 
  第四節(jié)  室內裝修
    第4.4.1條  潔凈廠房的建筑圍護結構和室內裝修，應選用氣密性良好，且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內裝修當需附加構造骨架和保溫層時。應采非燃燒體或難燃燒體。
    第4.4.2條  潔凈室內墻壁和頂棚的表面，應符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除塵等要求;應減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內裝修宜采用于操作;如為抹灰時，應采用高級抹灰標準。
    第4.4.3條  潔凈室的地面，應符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。
    第4.4.4條  潔凈廠房技術夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術夾層內更換高效空氣過濾器時，宜增刷涂料飾面。
    地面、回風地溝和位于地下的技術夾層，應采用防水或防潮、防霉措施。  建筑風道和回風地溝的內表面裝修標準，應與整個送、回風系統(tǒng)相適應，并應易于除塵。
    第4.4.5條  潔凈室和人員凈化用室設置的外窗，應采用雙層玻璃金屬窗，并應有良好的氣密性。
    第4.4.6條  潔凈室內的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔凈室的密閉門上宜設觀察窗。
    第4.4.7條  潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地(樓)面的構造和施工縫隙，均應采取可靠的密封措施。
    第4.4.8條  潔凈室內的色彩宜淡雅柔和。室內各表面材料的光反射系數(shù)，頂棚和墻面宜為0.6-0.8;地面宜為0.15--0.35。 
   第五節(jié)  裝配式潔凈室
    第4.5.1條  在新建或改建的潔凈廠房設計中，對于面積不大、層高較低、要求空氣潔凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可采用裝配式潔凈室。
    第4.5.2條  裝配式潔凈室所在的房間應有空氣凈化要求，并應與裝配式潔凈室的空氣潔凈度等級相適應。外圍建筑的耐火等級不得低于二級。
    第4.5.3條  裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內壁板或支柱支承，也可固定在外圍建筑上?；仫L地溝或回風地坑宜設在外圍建筑的地面以下。
    第4.5.4條  裝配式潔凈室設計應滿足在該室室內安裝壁板的要求。裝配式潔凈室的構配件應做到：連接構造的整體性強、氣密性好，并便于組裝、拆卸、包裝和運輸。
    第4.5.5條  裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外圍建筑的墻壁。緊貼時，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應封閉;靠近時，應留有清掃距離。當裝配式潔凈室時,壁板外側設有技術夾道時，壁板與外圍建筑內墻面之間凈寬不宜小于600毫米。

 第五章  空氣凈化
    第一節(jié)  一般規(guī)定
    第5.1.1條  潔凈廠房內各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應符合下列要求：
    一、潔凈室內有多種工序時，應根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。
    二、在滿足生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組織，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全室空氣凈化相結合的形式。
    第5.1.2條  層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)均宜分開設置。
    第5.1.3條  潔凈室內的計算溫、濕度，應符合下列規(guī)定：
    一、滿足生產(chǎn)工藝要求;
    二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26℃，濕度小于70%;
    三、人員凈化用室和生活用室溫度為16-28℃。
    第5.1.4條  潔凈室內應保證-定的新鮮空氣量，其數(shù)值應取下列風量中的最大值：
    一、亂流潔凈室后送風量的10-30%，層流潔凈室總送風量的2～4%;
    二、補償室內排風和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量;
    三、保證室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。
    第5.1.5條  潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應暗敷。
    第5.1.6條  在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。 
   第二節(jié)  潔凈室正壓控制
    第5.2.1條  潔凈室必須維持一定的正壓。 不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應不小于0.5毫米水柱;潔凈區(qū)與室外的靜壓差，不應小于1.0毫米水柱。
    第5.2.2條  潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風量，宜按下式計算：
    Q=a.∑(q.L)                     (5.2.2)
    式中Q一維持潔凈室正壓值所需的正壓風量(立方米/時)，
    a一根據(jù)圍護結構氣密性確定的安全系數(shù)，可取l.l-l.2;
    q一當潔凈室為某一正壓值時，其圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量(立方
米/時·米);
    L一圍護結構的縫隙長度(米)。
    第5.2.3條  圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量 可按表5.2.3采用。
            圍護結構單位長度縫隙的滲漏風量    表5.2.3
┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐  
│  漏風  \門窗│    │密│單層│單層│單層│傳遞│壁板│  
│   \量(\ 形│非密│閉│固定│固定│開啟│窗  │    │  
│壓差\米^3\式│閉門│門│密閉│密閉│式密│    │    │  
│差(毫\/時 \│    │  │木窗│鋼窗│閉鋼│    │    │  
│米水柱)\米)│    │  │    │    │窗  │    │    │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│0.5           │17  │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│1.0           │24  │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤    
│1.5           │30  │8 │2.0 │1.3 │6.0 │4.0 │0.8 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│2.0           │36  │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│2.5           │40  │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│3.0           │44  │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│3.5           │48  │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│4.0           │52  │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│4.5           │55  │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │  
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤  
│5.0           │60  │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │  
└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘  
    第5.2.4條  送風、回風和排風系統(tǒng)的啟閉應聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時，聯(lián)鎖程序應為先啟動送風機，再啟動回風機和排風機;系統(tǒng)關閉時，則聯(lián)鎖程序應相反。
    第5.2.5條  非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求在置值班風機，并應對新風進行處理。      
  第三節(jié)  氣流組織和送風量
    第5.3.1條  氣流組織的選擇，應符合下列要求：
    一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應滿足空氣潔凈度和人體健康的要求來。并應使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流向單一;
    二、回風口宜均勻布置在潔凈室下部;
    三、余壓閥宜設在潔凈室氣流的下風側，不宜設在潔凈工作區(qū)高度范圍內。
    第5.3.2條  潔凈室的氣流組織和送風量，宜按表5.3.2選用。
                 氣流組織和送風量    表5.3.2
┌───────┬───────────────┬───────┐  
│空氣潔凈      │ 100級                        │      1000級  │  
│度等級        │                              │              │  
├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤  
│  │氣流流型  │垂直層流      │水平層流      │        亂流  │  
│氣├─────┼───────┼───────┼───────┤  
│流│送鳳      │1.頂棚滿布高效│1.送風墻滿布高│1.孔板頂棚送風│  
│組│主要      │空氣過濾器送風│效空氣過濾器  │2.條形布置高效│  
│織│方式      │(高效空氣過  │水平送風      │空氣過濾器頂棚│  
│形│          │濾器占頂棚面積│2.送風墻局部布│送風          │  
│式│          │不小于60%)  │置高效空氣過濾│3.間隔布置帶擴│  
│  │          │              │器水平送風    │散板高效空氣  │  
│  │          │2.側布高效空氣│(高效空氣過濾│過濾器頂棚送風│  
│  │          │過濾器，頂棚設│器占送風墻面  │              │  
│  │          │阻尼層送風    │積不小于40%)│              │  
│  │          │3.全孔板頂棚送│              │              │  
│  │          │風            │              │              │  
│  ├─────┼───────┼───────┼───────┤  
│  │回風      │1.格柵地面回風│1.回風墻滿布  │1.相對兩側墻下│  
│  │主要      │⑴滿布        │回風口        │部均勻布置回  │  
│  │方式      │⑵均勻局部布置│2.回風墻局部布│風口          │  
│  │          │2.相對兩側墻下│置回風口      │2.潔凈室面積較│  
│  │          │部均勻布置回  │              │大時，可采用  │  
│  │          │風口          │              │地面均勻布置  │  
│  │          │              │              │回風口        │  
├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤  
│送│氣流流經(jīng)室│不小于0.25    │不小于0.35    │              │  
│風│內斷面風速│              │              │              │  
│量│(米/秒)│              │              │              │  
│  ├─────┼───────┼───────┼───────┤  
│  │換氣次數(shù)  │              │              │不小于50      │  
│  │(次/時)│              │              │              │  
├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤  
│送風口風速    │孔板孔3～5    │              │孔板孔口3～5  │  
│(米/秒)    │              │              │              │  
├───────┼───────┼───────┼───────┤  
│回風口風速    │不大于2       │不大于1.5     │1.潔凈室內回風│  
│(米/秒)    │              │              │口不大于2     │  
│              │              │              │2.走廊內回風口│  
│              │              │              │不大于4       │  
└───────┴───────┴───────┴───────┘  
注：1.垂直層流潔凈室采用相對兩側墻下部均勻布置回風口方式，僅適用于兩對側  側墻間距不大于5米.
    2.亂流潔凈室送風量的確定，宜考慮室內含塵濃度不均勻擴散的因素.
┌───────┬───────────┬───────────┐  
│空氣潔凈      │      10,000級        │          100,000級   │  
│等級          │                      │                      │  
├─┬─────┼───────────┼───────────┤  
│氣│氣流流型  │        亂流          │             亂流     │  
│流├─────┼───────────┼───────────┤  
│組│送風      │1.局部孔板頂棚送風    │1.帶擴散板高效空氣過  │  
│織│主要      │2.帶擴散板高效空氣過  │濾器頂棚送風          │  
│型│方式      │濾器頂棚送風          │2.上側墻送風          │  
│式│          │3.上側墻送風          │                      │  
│  ├─────┼───────────┼───────────┤  
│  │回風      │1.單側墻下部布置回風口│1.單側墻下部布置回風口│  
│  │主要      │2.當采用走廊回風時，在│2.當采用走廊回風時，在│  
│  │方式      │走廊內均勻布置回風口或│走廊內均勻布置回風口或│  
│  │          │在走廊端部集中設置回  │在走廊端部集中設置回  │  
│  │          │風口                  │風口                  │  
├─┼─────┼───────────┼───────────┤  
│送│氣流流經(jīng)室│                      │                      │  
│風│內斷風面風│                      │                      │  
│量│速        │                      │                      │  
│  │(米/秒)│                      │                      │  
│  ├─────┼───────────┼───────────┤  
│  │換氣次數(shù)  │        不小于25      │不小于15              │  
│  │(次/時)│                      │                      │  
├─┴─────┼───────────┼───────────┤  
│送風口風速    │1.孔板孔口3～5        │側送風口              │  
│(米/秒)    │2.側送風口            │⑴貼附射流2～5        │  
│              │⑴貼附射流2～5        │⑵非貼附射流同側墻下部│  
│              │⑵非貼附射流同側墻下部│回風1.5～2.5，對側墻  │  
│              │回風1.5～2.5，對側墻  │下部回鳳1.0～1.5      │  
│              │下部回鳳1.0～1.5      │                      │  
├───────┼───────────┼───────────┤  
│回風口風速    │1.潔凈室回風口不大于2 │1.潔凈室回風口不大于2 │  
│(米/秒)    │2.走廊內回風口不大于4 │2.走廊內回風口不大于4 │  
└───────┴───────────┴───────────┘  
    第5.3.3條  亂流潔凈室的送風量，應取下列規(guī)定的最大值：
    一、為控制室內空氣潔凈度所需要的送風量;
    二、按表5.3.2規(guī)定的送風量;
    三、根據(jù)熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風量;
    四、按空氣平行所需要的送風量。
    第5.3.4條  當生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內局部工作區(qū)達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設計應使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5.3.
 4-1、圖5.3.4-2選用。
    第5.3.5條  層流潔凈室內不宜設置潔凈工作臺;亂流潔凈室內可設置潔凈工作臺，但其位置應遠離回風口。
    第5.3.6條  潔凈室內有局部排風裝置時，其位置應設在工作區(qū)氣流的下風側。     

第四節(jié)  空氣凈化處理
    第5.4.1條  各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。 注：100,000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代替高效空氣過濾器。
    第5.4.2條  確定集中式或分散式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)時，應綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大、位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)。
    第5.4.3條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計應合理利用回風。凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求或對其他工序有危害時，則不應利用回風。
    第5.4.4條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外，應采取防止室外污染空氣通過新風口滲入潔凈室內的防倒灌措施。
    第5.4.5條  空氣過濾器的選用、布置和安裝方式，應符合下列要求：
    一、初效空氣過濾器不應選用浸油式過濾器
    二、中效空氣過濾器宜集中設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的正壓段;
    三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾氣宜設置在凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)末端;
    四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風量選用;
    五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設置在同一潔凈室內;
    六、高效空氣過濾器的安裝方式應簡便可靠，宜于檢漏和更換。
    第5.4.6條  送風機可按凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的總送風量和總阻力值進行選擇。中效、高效空氣過濾器的阻力宜按其初阻力的兩倍計算。
    第5.4.7條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應選用管狀電加熱器，位置應布置在高效空氣過濾器的上風側，并應有防火安全措施  
  第五節(jié)  采暖通風
    第5.5.1條  潔凈室的采暖型式，應按下列不同情況確定：
    一、100級、1000級、10，000級潔凈室，不應采用散熱器采暖;l00，000級潔凈室，不宜采用散熱器采暖。
    二、值班采暖可利用技術夾道的散熱器進行間接采暖，或采用間歇運行凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)、值班風機系統(tǒng)進行熱風采暖。
    第5.5.2條  散熱器應采用表面光滑、不易積塵、便于清掃的型式。
    第5.5.3條  潔凈室內產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設備，應設局部排風裝置，排風罩的操作口面積應盡量縮小。
    第5.5.4條  局部排風系統(tǒng)在下列情況下，應單獨設置：
    一、非同一凈化空氣調節(jié)系統(tǒng);
    二、排風介質混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性;
    三、所排出的有害物毒性相差很大。
  第5.5.5條  潔凈室的排風系統(tǒng)設計，應采取下列措施：
    一、防倒灌措施;
    二、含有易燃、易爆物質局部排風系統(tǒng)的防火、防爆措施。
    第5.5.6條  換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應采取通風
措施。其室內的靜壓值，應低于潔凈區(qū)。
    第5.5.7條  潔凈室事故排風系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應采用每小時15～20次。事故排風裝置的控制開關，應分別設在潔凈室和室外便于操作的地點，并應與凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內宜設報警裝置。 
  第六節(jié)  風管和附件
    第5.6.1條  風管斷面尺寸的確定，應考慮能對風管內壁進行清潔處理，并在適當位置設置密閉的清掃口。風管壁厚按附錄六選用。
    第5.6.2條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風管、回風總管，應設置密閉調節(jié)閥。送風機的吸入口處和需要調節(jié)風量處，應設置調節(jié)閥。潔凈室內的排風系統(tǒng)，應設置調節(jié)閥、止回閥或密閉閥?？傦L管穿過樓板和風管穿過防火墻處，必須設置防火閥。
    第5.6.3條  凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)的風管和調節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護網(wǎng)、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。   潔凈室內排風系統(tǒng)的風管、調節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應根據(jù)排除氣體的性質及其所處的空氣環(huán)境條件確定。
    第5.6.4條  在中效和高效的空氣過濾器前后，應設置測壓孔。在新風管和送回風總管以及需要調節(jié)風量的支管上，應設置風量測定孔。
    第5.6.5條  排除腐蝕性氣體的風管，可采用塑料風管。其他風管以及風管的保溫和消聲材料及其粘結刑，應采用非燃燒材料或難燃燒材料。

  第六章  給水排水
  第一節(jié)  一般規(guī)定
    第6.1.1條  潔凈廠房內的給水排水干管，應敷設在技術夾層、技術豎井、地溝管槽內或地下埋設。
    潔凈室內應少敷設管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可暗敷。
    第6.1.2條  潔凈廠房內的管道外表面，如可能結露，應采取防結露措施。
    第6.1.3條  管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應設套管。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
    第5.1.4條  管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時，穿墻管及其套管應為非燃燒體管材。 
  第二節(jié)  給水
    第6.2.1條  潔凈廠房內的給水系統(tǒng)設計，應根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各項用水對水質、水溫、水壓和水量的要求，分別設置直流、循環(huán)或重復利用的給水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應設置循環(huán)管道。
    第6.2.2條  管材的選擇，應符合下列要求：
    一、純水管、高純水管應采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管;
    二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管;
    三、生產(chǎn)用水設備與管道的連接宜采用優(yōu)質軟管;
    四、管道的配件應采用相應的材料。
    第6.2.3條  潔凈廠房內可設置開水供應設施;盥洗室內的盥洗盆宜供應熱水;軟化水、純水管適應預留清洗口;純水終端凈化裝置應放在靠近用水點處。
    第6.2.4條  潔凈廠房的周圍，應設置灑水設施。  
  第三節(jié)  排水
    第6.3.1條  潔凈廠房的排水系統(tǒng)設計，應根據(jù)生產(chǎn)排出的廢水性質、濃度、水量等特點確定排水系統(tǒng)，并應有廢水處理或綜合利用設施。
    第6.3.2條  潔凈室內的排水設備以及與重力回水管道相連接的設備，必須在其排出口以下部位設水封裝置，并應有防止水封被破壞的設施。
    第6.3.3條  100級、1000級潔凈室內，不宜設置地漏;如必須設置時，應采用有蓋地漏，并不應設排水溝。10，000、100，000級潔凈室內允許穿過排水豎管，但在豎管上不得設置檢查口。
    第6.3.4條  潔凈廠房內應采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管材、管架及其附件。  
  第四節(jié)  消防設施
    第6.4.1條  潔凈廠房應根據(jù)生產(chǎn)的火災危險性分類和建筑物耐火等級等因素確定消防設施。
    第6.4.2條  潔凈廠房室內消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應小于10升/秒，每股水量不應少于5升/秒;
    第6.4.3條  潔凈廠房的消火栓設置，應符合下列要求：
    一、消火栓的水槍充實水柱，不應小于10米。
    二、消火栓的栓口直徑應為65毫米，配備的水帶長度不應超過25米，水槍噴嘴口徑不應小于19毫米。
    第6.4.4條  潔凈室及其技術夾道和技術夾層內，均宜同時設置鹵代烷或二氧化碳等滅火設施和消防給水系統(tǒng)。對設有貴重設備儀器或生產(chǎn)的火災危險性較大的潔凈室，以及當火災發(fā)生時消防人員難以進入撲救的技術夾層和技術夾道等部位，應同時設置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。 

第七章  工業(yè)氣體管道
  第一節(jié)  一般規(guī)定
    第7.1.1條  工業(yè)氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內。氫氣和氧氣管道宜明敷;如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。引入潔凈室的支管宜明敷。
    第7.1.2條  高純氣體管道設計，應附合下列要求
    一、根據(jù)計算確定管徑;
    二、管道系統(tǒng)應盡量短;
    三、不宜設預留口;
    四、不應出現(xiàn)“盲管”等不易吹除的部位;
    五、干管和支管上應設置吹除口;
    六、在管道系統(tǒng)上應設置必要的取樣口。
    第7.1.3條  穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫。管道與套管之間應采取可靠的密封措施。
    第7.1.4條  氫氣和氧氣管道末端或是高點宜設放散管。放散管應高出屋脊1米，并應設在防雷保護區(qū)內。
    第7.1.5條  氣體凈化裝置應根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體純度的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應設在靠近用氣點處。
    第7.1.6條  氣體過濾器應根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應裝設高氣體過濾器。 
    第二節(jié)  管道材料、閥門和附件
    第7.2.1條  根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應按下列規(guī)定選用：
    一、氣體純度大于或等于99.999%時，應采用不銹鋼管;
    二、氣體純度大于或等于99.99%時，直采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管;
    三、氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管;
    四、管道與設備的連接段，宜采用金屬管道;如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙烯管，不得采用乳膠管。
    第7.2.2條  高純氣體管道應采用密封性能好的閥門和附件，其材料與管道相適應。閥門的密合圈應為有色金屬、銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應采用聚四氟乙烯材料。
    第7.2.3條  高純氣體管道與附件連接的密封墊,應采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。 
   第三節(jié)  管道連接和清洗
    第7.3.1條  管道連接應采用焊接。高純氣體管道應采用承插焊。
    第7.3.2條  管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。
    第7.3.3條  高純氣體管道內的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理。 
        第四節(jié)  安全技術
    第7.4.1條  工業(yè)氣體管道設計的安全技術，應符合下列規(guī)定：
    一、氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器;
    二、氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置;
    三、各種氣體管道應設明顯標志。
    第7.4.2條  潔凈室內使用氫氣時，宜在室內設置報警裝置。
    第7.4.3條  各種氣瓶應集中設置在潔凈廠房外。當日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設置在潔凈室內。

 第八章  電   氣
   第一節(jié)  配電
    第8.1.1條  潔凈廠房的電力負荷等級，應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。凈化空氣調節(jié)用電負荷、照明負荷，應由變電所專線供電。
    第8.1.2條  電源進線(不包括消防用電)應設置切斷裝置，并宜設在非潔凈區(qū)便于管理的地點。
    第8.1.3條  潔凈室內的配電設備，應選擇不易積塵的設備，并宜暗裝。大型配電設備不宜設在潔凈室內。
    第8.1.4條  潔凈室內的電氣管線宜暗敷，管材應采用非燃燒材料。由非潔凈區(qū)進入潔凈區(qū)的電氣管線管口，應采取可靠的密封措施。 
   第二節(jié)  照明
    第8.2.1條  潔凈室內的照明光源，宜采用熒光燈。如達不到照明設計的技術經(jīng)濟指標要求時，也可采用其他光源。
    第8.2.2條  潔凈室內一般照明燈具宜明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應采取可靠的密封措施。    潔凈室內不應采用格柵型燈具。
    第8.2.3條  無采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值，不應低于表8.2.3的規(guī)定數(shù)值。
           無采光窗潔凈區(qū)工作面上的照度值  表8.2.3
┌──────┬──────┬──┬───────┐  
│識別對象的  │視覺工作分類│亮度│照度(勒克斯)│  
│最小尺寸    ├──────┤對比├───┬───┤  
│d(毫米)   │     等級   │    │混合  │一般  │  
│及場所      │            │    │照明  │照明  │  
├──────┼─┬────┼──┼───┼───┤  
│d≤0.15     │Ⅰ│    甲  │小  │2500  │500   │  
│            │  │    乙  │大  │1500  │300   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│0.15≤d≤0.3│Ⅱ│   甲   │小  │1000  │300   │  
│            │  │   乙   │大  │750   │200   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│0.8≤d≤0.6 │Ⅲ│   甲   │小  │750   │200   │  
│            │  │   乙   │大  │750   │150   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│d>0.6      │Ⅳ│        │    │750   │150   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│通道、休息室│  │        │    │      │100   │  
├──────┼─┼────┼──┼───┼───┤  
│暗房工作室  │  │        │    │      │30    │  
└──────┴─┴────┴──┴───┴───┘  
    第8.2.4條  無采光窗潔凈區(qū)混合照明中的一般照明，其照度值應該按等級混合照明照度值的10-l5%采用，并不應低于150勒克斯。
    第8.2.5條  潔凈廠房內應設置供人員疏散用的事故照明。在應急安全出口和疏散通道轉角處應設置標志燈。在專用消防口處應設置紅色應急照明燈。
    第8.2.6條  潔凈室內一般照明的照度均勻度不應小于0.7。
  第三節(jié)  控制、通信和防護
    第8.3.1條  潔凈廠房的凈化空氣調節(jié)控制系統(tǒng)，應滿足生產(chǎn)工藝對溫度、濕度和正壓的要求。凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)所采用的電加熱器，應設置無風斷電保護。
    第8.3.2條  潔凈廠房內應設置與廠房內外聯(lián)系的通信裝置。
    第8.3.3條  潔凈廠房(包括技術夾層)應單獨或組合設置感溫、感光、感煙等形式的火災探測器。報警器(受訊臺)應設置在有人值班的地點，供電應可靠。
    第8.3.4條  潔凈區(qū)內應設緊急按鈕。如發(fā)生火災危險時，應能發(fā)出報警信號，并應同時切斷風機電源。 
              

 附錄一             名詞解釋
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│序號│本規(guī)范用名詞│曾用名詞│  解釋                  │  
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│1   │潔凈室      │        │根據(jù)需要，對空氣中塵粒、│  
│    │            │        │溫度、濕度、壓力和噪聲  │  
│    │            │        │進行控制的密閉空間,并   │  
│    │            │        │以其空氣潔凈度等級符合  │  
│    │            │        │本規(guī)范規(guī)定為主要特征    │  
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│2   │潔凈區(qū)      │凈化區(qū)  │由潔凈室所組成的區(qū)域    │  
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│3   │人身凈化用室│人凈生活│潔凈區(qū)工作人員在進入潔  │  
│    │            │間      │凈區(qū)之前按一定程序進行  │  
│    │            │        │凈化的輔助用室          │  
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│4   │物料凈化用室│        │物料在進入潔凈區(qū)之前按一│  
│    │            │        │定程序進行凈化的輔助用室│  
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│5   │技術夾層    │管道夾層│主要以水平構件分隔構成  │  
│    │            │技術閣樓│的供安裝管線等設施使用  │  
│    │            │        │的建筑夾道              │  
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│6   │技術夾道    │技術走廊│主要以垂直構件分隔成的  │  
│    │            │技術管械│供安裝管線等設施使用的  │  
│    │            │技術夾墻│建筑夾道                │  
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│7   │技術豎井    │        │主要以垂直鉤件分隔構成  │  
│    │            │        │的供安裝豎向管線使用的  │  
│    │            │        │井式建筑輔助空間        │  
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│8   │建筑風道    │        │以建筑構件組成的風道    │  
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│9   │輕型吊頂    │輕吊頂、│以輕型骨架和飾面板材安  │  
│    │            │軟吊頂  │裝組成的頂棚            │  
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│10  │粒      徑  │        │指塵粒由某種測定方法測  │  
│    │            │        │出的長度名義尺寸，并不  │  
│    │            │        │含有具體的幾何形狀的意  │  
│    │            │        │義。當采用光學顯微鏡測  │  
│    │            │        │定時，是指塵粒投影通過  │  
│    │            │        │測微標尺時為標尺刻度線  │  
│    │            │        │所切兩瑞的長度          │  
│    │            │        │  當采用光散射式粒子計  │  
│    │            │        │數(shù)器測定時，是指標準塵  │  
│    │            │        │粒(如聚本烯小球)作散  │  
│    │            │        │射光強度的等效比較而得  │  
│    │            │        │的綜合效果              │  
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│11  │含塵濃度    │        │指單位體積空氣中所含懸  │  
│    │            │        │浮塵粒的數(shù)量            │  
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│12  │潔凈度      │        │    指潔凈環(huán)境中空氣含塵│  
│    │            │        │粒多少的程度            │  
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│13  │全室空氣凈化│全面凈化│通過空氣凈化等技術措施，│  
│    │            │        │使室內整個空間的空氣含塵│  
│    │            │        │濃度達到本規(guī)范的空氣潔凈│  
│    │            │        │度等級，這種方式稱全室空│  
│    │            │        │氣凈化                  │  
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│14  │局部空氣凈化│        │  僅使室內工作區(qū)域特定的│  
│    │            │        │局部空間的空氣含塵濃度達│  
│    │            │        │到本規(guī)范的空氣潔凈度等級│  
│    │            │        │這種方式稱局部空氣凈化  │  
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│15  │層流潔凈室  │平行流  │在潔凈室內，空氣以均勻的│  
│    │            │        │斷面速度沿平行流線流動(│  
│    │            │        │與流體力學的層流概念不完│  
│    │            │        │全相同)                │  
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│16  │亂流潔凈室  │        │在潔凈室內，空氣以不均勻│  
│    │            │        │的速度呈不平行流線流動  │  
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│17  │潔凈工作區(qū)  │        │指潔凈室內(除生產(chǎn)工藝特│  
│    │            │        │殊要求外)離地面0.8～1.5│  
│    │            │        │米高度的區(qū)域            │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│18  │第一潔凈工作│        │  指水平層流潔凈室工作區(qū)│  
│    │區(qū)          │        │內空氣潔凈度最后的工作位│  
│    │            │        │置                      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│19  │空氣吹淋室、│風淋室、│強制吹除工作人員及其衣  │  
│    │通道式空氣吹│空氣淋  │服上附著塵粒的設備      │  
│    │淋室        │浴室    │                        │  
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│20  │氣閘室      │        │  為保持潔凈區(qū)的空氣潔凈│  
│    │            │        │度和正壓控制而設置的緩沖│  
│    │            │        │室                      │  
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│21  │潔凈工作服  │尼龍服、│ 為了把工作人員的皮膚和 │  
│    │            │無塵服  │衣服產(chǎn)生的塵粒限于最小程│  
│    │            │        │度所使用的灰塵量少的潔凈│  
│    │            │        │服裝                    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│22  │過濾器額定風│        │指在一定濾速下，使其效率│  
│    │量          │        │和阻力為最合理時的過濾器│  
│    │            │        │風量                    │  
├──┼──────┼────┼────────────┤  
│23  │隧道式潔凈室│        │  在潔凈室內采用層流罩組│  
│    │            │        │成隧道式的垂直層流型的局│  
│    │            │        │部潔凈工作區(qū)，以布置有較│  
│    │            │        │高空氣潔凈度要求的生產(chǎn)工│  
│    │            │        │序或生產(chǎn)流水線          │  
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│24  │外圍建筑    │   b    │  指安裝裝配式潔凈室所在│  
│    │            │        │的新建或改建建筑物      │
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│25  │氣流組織    │        │  指對氣流流向和均勻度按│  
│    │            │        │一定要求進行組織        │  
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│26  │濾膜顯微鏡  │        │ 將測定用薄膜過濾器捕集 │  
│    │計數(shù)法      │        │到的塵粒用顯微鏡放大后，│  
│    │            │        │觀察塵粒大小和數(shù)量的方法│  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│27  │純水        │去離子水│ 指溫度25℃時，電阻率   │  
│    │            │深度脫鹽│大于0.1×10^6歐姆·厘米 │  
│    │            │水      │水                      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│28  │高純水      │        │指溫度25℃時，電阻率大于│  
│    │            │        │0.1×10^6歐姆·厘米水中 │  
│    │            │        │大于或等于0.5微米的塵粒 │  
│    │            │        │小于300粒/毫升，活微生 │  
│    │            │        │物小于9個/毫升的純水   │  
├──┼──────┼────┼────────────┤ 
│29  │純水終端凈  │純水后處│在用水點附近，對水質作進│  
│    │化裝置      │理設備  │一步凈化處理的裝置      │  
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│30  │高純氣體    │        │指純度大于或等于        │  
│    │            │        │99，9999%，            │  
│    │            │        │含水量小于5ppm的氣體    │  
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│31  │氣體終端凈  │        │在用氣點附近，對氣體作進│  
│    │化裝置      │        │一步純化處理的裝置      │  
├──┼──────┼────┼────────────┤
│32  │高效氣體過  │        │氣體經(jīng)過濾后，達到小于或│  
│    │濾器        │        │等于0.5微米塵粒含量小于 │  
│    │            │        │或等于3.5粒/升的氣體過 │  
│    │            │        │濾器                    │  
└──┴──────┴────┴────────────┘ 

附錄二   潔凈室空氣潔凈度的測試
    一、潔凈室的空氣潔凈度，應進行下列測試：
    (一)空態(tài)、靜態(tài)測試
    空態(tài)測試：潔凈室已竣工，凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，室內沒有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下邊行測試。
    靜態(tài)測試：潔凈室凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)已處于正常運行狀態(tài)，工藝設備已安裝，室內沒有生產(chǎn)人員的情況下進行測試。
    (二)動態(tài)測試
   潔凈室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進行測試。
    二、潔凈室的風量、風速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測，可按一般通用、空氣調節(jié)的有關規(guī)定執(zhí)行。
    三、空態(tài)、靜態(tài)測試
    (一)測試前的準備
    1、應對潔凈室及其凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)進行徹底清潔。
    2、采用光散射粒子計數(shù)器對高效空氣過濾器進行檢漏測試。首先測定高效空氣過濾器的上風側靜壓箱內(或風管內)粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)應
為大于或等于30，000粒/升。如若不夠，可引入煙霧，然后開始檢漏。將粒子計數(shù)器(或檢漏裝置)的采樣口距離高效空氣過濾器2--3厘米處，可以2～4厘米/秒的速度移動，對高效空氣過濾器整個斷面 封頭膠處和安裝框架處進行掃描。當粒子計數(shù)器讀數(shù)為空氣口大于或等于0.5微米的塵粒超過3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即認為該處有明顯滲漏，必須進行堵漏。
    (二)測試內容
    1、總送風量、總回風量、新鮮空氣量、排風量等;
    2、潔凈室壓力值;
    3、層流潔凈室斷面風速和氣流流向;
    4、潔凈工作區(qū)的潔凈度;
    5、室內溫度、濕度及其控制能力的調整測試;
    6、潔凈室內噪聲。
    (三)潔凈工作區(qū)空氣潔凈度的測試方法
    對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數(shù)，宜采用光散射粒子計數(shù)法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數(shù)。也可采用濾膜顯微鏡計數(shù)法。    光散射粒子計數(shù)法：
    1、光散射粒子計數(shù)器采樣量
    100級：每次采樣量大于或等于1升。   l，000級-l0,000級：每次采樣量大于或等于0.3升。   100，000級：每次采樣量大于或等于0.1升。   對于100級潔凈室，宜采用大流量粒子計數(shù)器進行測試;   如果條件不具備時，可采用每次采樣量不小于1升的粒子計數(shù)器。
    2、采樣注意事項
    (1)采樣管必須干凈，連接處嚴禁滲漏。
    (2)采樣管的長度，應根據(jù)儀器的允許長度。當無規(guī)定時，不宜大于1.5米。
    (3)采樣管口的流速，宜與潔凈室斷面平均風速相接近。測試人員應在采樣口的下風側。
    (4)采樣順序應按含塵濃度從低到高進行。
    3、測點布置
    (l)檢測在潔凈工作區(qū)內進行。當生產(chǎn)工藝無特殊要求時，取樣高度宜為離地面1米。
    (2)層流潔凈室測點總數(shù)不小于20點，測點間距為0.5～2.0米，粒徑大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)允許有一個點超過。水平層流潔凈室測點僅布置在第一潔凈工作區(qū)內。
    (3)亂流潔凈室可按潔凈面積小于或等于50平方米布置5個測點(附圖2)。每增加20-50平方米，增加3--5個測點。
    4、數(shù)據(jù)整理
    (1)每個測點的數(shù)據(jù)整理應在測試儀器穩(wěn)定運行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點的實測數(shù)值。
    (2)對于大于或等于0.5微米的塵粒數(shù)確定：層流潔凈室取各測定點最大值，亂流潔凈室取各測點的平均值。
    (四)正壓值測定應采用精度可達0.01毫米水柱的微壓計。
    四、動態(tài)測試。
    在潔凈工作區(qū)操作位置選擇有代表性測點的氣流上風向進行，測試方法同空態(tài)、靜態(tài)測試。

附錄三      潔凈廠房生產(chǎn)的火災危險性分類舉例
┌──┬────────────────────────┐  
│生產(chǎn)│   舉    例                                     │  
│類別                                                  │  
├──┼────────────────────────┤  
│甲  │微型軸承裝配的精研間、裝配前的檢查間            │  
│    │精密陀螺儀裝配的清洗間                          │  
│    │磁帶涂布烘干工段                                │  
│    │化工廠的丁酮、丙酮、環(huán)乙酮易燃熔劑的物          │  
│    │理提純工作間(光致抗蝕劑的配制工作間)          │  
│    │半導體材料廠使用氫氣的拉晶間、硅烷熱分解室      │  
│    │集成電路工廠的化學清洗間(使用閃點小于28℃的易燃│  
│    │液體者)外延間、化學氣相沉積間和化學試劑貯存間  │  
├──┼────────────────────────┤  
│乙  │膠片廠的洗印車間                                │  
├──┼────────────────────────┤  
│丙  │計算機房記錄數(shù)據(jù)的磁盤貯存間                    │  
│    │顯像管廠裝配工段燒槍間                          │  
│    │磁帶裝配工段                                    │  
│    │集成電路工廠的氧化、擴散間、光刻間              │  
└──┴────────────────────────┘ 

附錄四    凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計對施工的要求
    一、風管、靜壓箱和附件的施工，應符合下列要求：
    (一)施工現(xiàn)場應保持清潔。風管及其附件、靜壓箱、空氣調節(jié)器、技術夾層、機房以及其它設備、裝置等的清潔工作應邊施工邊進行;
    (二)風管、靜壓箱和附件等制作后，應存放在清潔、干燥的地點，并應采取防止積塵的措施;
    (三)采用復合鋼板、鍍鋅鋼板制作的風管，在加工、安裝、施工過程中造成的破損應補涂涂料;
    (四)清掃、擦拭應選用不產(chǎn)塵、不掉纖維的工具和材料。
    二、高效和亞高效空氣過濾器的安裝，應符合下列要求：
    (一)必須在土建施工、凈化空調系統(tǒng)初效、中效空氣過濾器安裝完畢，全系統(tǒng)進行檢查、擦試、吹洗運轉12小時后方能進行;
    (二)高效空氣過濾器必須在安裝時方可從保護袋中取出，同時應進行透光目視檢查。凡濾紙破損、漏膠和外框變形者，不得安裝;
    (三)過濾器與安裝框架之間，必須采取密封措施;
    (四)過濾器安裝就位后，必須進行檢漏和堵漏。
    三、裝配式潔凈室、空氣吹淋室、氣閘室、余壓調節(jié)閥等凈化設備和部件的安裝，應嚴格按照產(chǎn)品的安裝、施工要求進行。
 附錄五   凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)設計對維護管理的要求
     一、潔凈室的空氣，宜按附表5規(guī)定進行監(jiān)測
    潔凈室的空氣監(jiān)測頻數(shù)     附表5
┌──────┬──┬───┬────┬──────┐  
│  \空氣潔  │    │      │        │            │  
│鑒測\  凈度│100 │1000  │10,000  │  100,000   │  
│  項目\等級│    │      │        │            │  
├──────┼──┴───┴────┴──────┤  
│溫度        │每班二次                            │  
├──────┼──────────────────┤  
│濕度        │每班二次                            │  
├──────┼────┬─────────────┤  
│正壓值      │每周一次│每月一次、                │  
├──────┼────┼──────┬──────┤  
│潔凈度      │每周一次│每三個月一次│每六個月一次│  
└──────┴────┴──────┴──────┘ 

附錄六 凈化空氣調節(jié)系統(tǒng)風管壁厚
                       風管壁厚          附錄6
┌─┬────────┬────────┬────────┬────────┐  
│風│冷軋鍍鋅        │鋁板制風管      │不銹鋼板制風管  │塑料板制風管    │  
│管│鋼板制風管      │                │                │                │  
│形├────┬───┼────┬───┼────┬───┼────┬───┤  
│狀│外徑或最│壁厚  │外徑或最│壁厚  │外徑或最│壁厚  │外徑或最│壁厚  │
│  │大邊長  │(毫  │大邊長  │(毫  │大邊長  │(毫  │大邊長  │(毫  │
│  │(毫米)│  米)│(毫米)│  米)│(毫米)│  米)│(毫米)│  米)│
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│圓│100～200│0.5   │100～320│1.0   │100～500│0.5   │100～320│3.0   │  
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│風│220～500│0.75  │360～630│1.5   │560～   │0.75  │360～630│4.0   │  
│管│        │      │        │      │1120    │      │        │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │560～   │1.0   │700～   │2.0   │1250～  │1.0   │700～   │5.0   │  
│  │1120    │      │2000    │      │200     │      │1000    │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │1250～  │1.2～ │        │      │        │      │1120～  │6.0   │  
│  │2000    │1.5   │        │      │        │      │2000    │      │  
├─┼────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│矩│100～200│0.5   │100～320│1.0   │100～500│0.5   │120～320│3.0   │  
│形├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│風│220～500│0.75  │360～630│1.5   │560～   │0.75  │100～500│4.0   │  
│管│        │      │        │      │1120    │      │        │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │560～   │1.0   │700～   │2.0   │1250～  │1.0   │6300～  │5.0   │  
│  │1120    │      │2000    │      │2000    │      │800     │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │1250～  │1.2～ │        │      │        │      │1000～  │6.0   │  
│  │2000    │1.5   │        │      │        │      │1250    │      │  
│  ├────┼───┼────┼───┼────┼───┼────┼───┤  
│  │        │      │        │      │        │      │1600～  │8.0   │  
│  │        │      │        │      │        │      │2000    │      │  
└─┴────┴───┴────┴───┴────┴───┴────┴───┘  
附錄七  本規(guī)范用詞說明
    一、執(zhí)行本規(guī)范條文時，對于要求嚴格程度的用詞說明如下，以便執(zhí)行中區(qū)別對待。
    1、表承很嚴格，非這樣作不可的用詞：
    正面詞采用“必須”;
    反面詞采用“嚴禁”。
    2、表示嚴格，在正常情況下均應這樣作的用詞：
    正面詞采用“應”;
    反面詞采用“不應”或“不得”。
    3、表示允許稍有選擇，在條件許可時，首先應這樣作的用詞：
    正面詞采用“宜”或“可”;
    反面詞采用“不宜”。
    二、條文中指明必須按其他有關標準和規(guī)范執(zhí)行的寫法為：“應按……執(zhí)行”或“應符合……要求或規(guī)定”。非必須按所指定的標準和規(guī)范執(zhí)行的寫法為，“可參照……”。