現(xiàn)批準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，編號(hào)為GB 50073-2013，自2013年9月1日起實(shí)施。其中，第3.0.1(1、2、3)、4.2.3(1)、4.4.1、5.2.1、5.2.4、5.2.5、5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.5、5.3.10、6.1.5、6.2.1、6.3.2、6.5.1、6.5.3、6.5.4、6.5.6、6.5.7(1)、6.6.2、6.6.6、7.3.2、7.3.3(1、4)、7.4.1、7.4.3、7.4.4、7.4.5(2)、8.1.1(4)、8.1.5、8.1.8、8.4.1、8.4.2(2、3)、8.4.3、9.2.2、9.2.5(1)、9.2.6、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.3、9.5.2、9.5.4、9.5.7條(款)為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。原國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073-2001同時(shí)廢止。 
    本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

前言

    本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2002-2003年度工程建設(shè)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計(jì)劃>的通知》(建標(biāo)函〔2003〕102號(hào))的要求，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院會(huì)同有關(guān)單位共同對(duì)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073-2001修訂而成。
    本規(guī)范在修訂過程中，修訂組結(jié)合我國(guó)潔凈廠房設(shè)計(jì)建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究和測(cè)試，認(rèn)真總結(jié)了《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073-2001多年來實(shí)施的經(jīng)驗(yàn)，廣泛征求了全國(guó)有關(guān)單位的意見，最后經(jīng)審查定稿。
    本規(guī)范共9章和3個(gè)附錄，主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語、空氣潔凈度等級(jí)、總體設(shè)計(jì)、建筑、空氣凈化、給水排水、工業(yè)管道、電氣等。
    本規(guī)范主要的修訂技術(shù)內(nèi)容是：修改了第2章術(shù)語;對(duì)第3章空氣潔凈度等級(jí)的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補(bǔ)充;修改了第8章，更名為“工業(yè)管道”;修改了部分“強(qiáng)制性條文”為“非強(qiáng)制性條文”。
    本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。
    本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋，由工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過程中如有意見或建議，請(qǐng)寄送中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號(hào)，郵政編碼：100840，傳真：010-68217842)，以便今后修訂時(shí)參考。
    本規(guī)范主編單位、參編單位、主要起草人和主要審查人：
    主編單位：中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院
    參編單位：信息產(chǎn)業(yè)部第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司 中國(guó)石油化工集團(tuán)上海醫(yī)藥工業(yè)設(shè)計(jì)院 中國(guó)建筑科學(xué)研究院
    主要起草人：陳霖新 張利群 王唯國(guó) 繆德驊 晁陽 趙海 俞渭雄 周春海 秦學(xué)禮 譚易和 賀繼行 肖紅梅 樊勖昌 張彥國(guó) 黃德明 牛光宏 冷捷敏 馮佩明
    主要審查人：涂光備 薛長(zhǎng)立 王宗存 張洪雁 施紅平 李兆堅(jiān) 葉鳴 孫志華 萬桐良

1 總則

1.0.1 為了使?jié)崈魪S房設(shè)計(jì)符合節(jié)約能源、勞動(dòng)衛(wèi)生和環(huán)境保護(hù)的要求，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟(jì)適用、安全可靠，確保潔凈廠房設(shè)計(jì)質(zhì)量，制定本規(guī)范。
1.0.2 本規(guī)范適用于新建、擴(kuò)建和改建潔凈廠房的設(shè)計(jì)。
1.0.3 潔凈廠房設(shè)計(jì)應(yīng)是施工安裝、維護(hù)管理、檢修測(cè)試和安全運(yùn)行的基礎(chǔ)。
1.0.4 潔凈廠房設(shè)計(jì)除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2 術(shù)語

2.0.1 潔凈室 clean room
    空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
2.0.2 潔凈區(qū) clean zone
    空氣懸浮粒子濃度受控的限定空間。它的建造和使用應(yīng)減少空間內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子?？臻g內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。潔凈區(qū)可以是開放式或封閉式。
2.0.3 移動(dòng)式潔凈小室 mobile clean booth
    可整體移動(dòng)位置的小型潔凈室。有剛性和柔性材料圍擋兩類。
2.0.4 人身凈化用室 room for cleaning human body
    人員在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.5 物料凈化用室 room for cleaning material
    物料在進(jìn)入潔凈區(qū)之前按一定程序進(jìn)行凈化的房間。
2.0.6 粒徑 particle size
    給定的粒徑測(cè)定儀所顯示的、與被測(cè)粒子的響應(yīng)量相當(dāng)?shù)那蛐误w直徑。
2.0.7 懸浮粒子 airborne particle
    用于空氣潔凈度分級(jí)的空氣中懸浮粒子尺寸范圍在0.1μm～5μm的固體和液體粒子，但不適用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性及生命性。
2.0.8 超微粒子 ultrafine particle
    具有當(dāng)量直徑小于0.1μm的粒子。
2.0.9 微粒子 microparticle
    具有當(dāng)量直徑大于5μm的粒子。
2.0.10 粒徑分布 particle size distribution
    粒子粒徑頻率分布和累積分布，是粒徑的函數(shù)。
2.0.11 含塵濃度 particle concentration
    單位體積空氣中懸浮粒子的顆數(shù)。
2.0.12 潔凈度 cleanliness
    以單位體積空氣中大于或等于某粒徑粒子的數(shù)量來區(qū)分的潔凈程度。
2.0.13 氣流流型 air flow pattern
    對(duì)室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布進(jìn)行合理設(shè)計(jì)。
2.0.14 單向流 unidirectional airflow
    通過潔凈室(區(qū))整個(gè)斷面的風(fēng)速穩(wěn)定、大致平行的受控氣流。
2.0.15 垂直單向流 vertical unidirectional flow
    與水平面垂直的單向流。
2.0.16 水平單向流 horizontal unidirectional flow
    與水平面平行的單向流。
2.0.17 非單向流 non-unidirectional flow
    送入潔凈室(區(qū))的送風(fēng)以誘導(dǎo)方式與室(區(qū))內(nèi)空氣混合的氣流分布類型。
2.0.18 混合流 mixed airflow
    單向流和非單向流組合的氣流。
2.0.19 潔凈工作區(qū) clean working area
    除工藝特殊要求外，指潔凈室內(nèi)離地面高度0.8m～1.5m的區(qū)域。
2.0.20 空氣吹淋室 air shower
    利用高速潔凈氣流吹落并清除進(jìn)入潔凈室人員表面附著粒子的小室。
2.0.21 氣閘室 air lock
    設(shè)置在潔凈室出入口，阻隔室外或鄰室污染氣流和壓差控制而設(shè)置的緩沖間。
2.0.22 傳遞窗 pass box
    在潔凈室隔墻上設(shè)置的傳遞物料和工器具的窗口。兩側(cè)裝有不能同時(shí)開啟的窗扇。
2.0.23 潔凈工作臺(tái) clean bench
    能夠保持操作空間所需潔凈度的工作臺(tái)。
2.0.24 潔凈工作服 clean working garment
    為把工作人員產(chǎn)生的粒子限制在最小程度所使用的發(fā)塵量少的潔凈服裝。
2.0.25 空態(tài) as-built
    設(shè)施已經(jīng)建成，其服務(wù)動(dòng)力公用設(shè)施區(qū)接通并運(yùn)行，但無生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的狀態(tài)。
2.0.26 靜態(tài) at-rest
    設(shè)施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)安裝好，并按供需雙方商定的狀態(tài)運(yùn)行，但無生產(chǎn)人員的狀態(tài)。
2.0.27 動(dòng)態(tài) operational
    設(shè)施以規(guī)定的方式運(yùn)行，有規(guī)定的人員在場(chǎng)，并在商定的狀態(tài)下進(jìn)行工作。
2.0.28 已裝過濾器檢漏 installed filter system leakage test
    為確認(rèn)過濾器安裝良好、沒有向潔凈室(區(qū))的旁路滲漏，過濾器及其框架均無缺陷和滲漏所做的檢測(cè)。
2.0.29 高效空氣過濾器 high efficiency particulate air filter (HEPA)
    在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑大于或等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上的空氣過濾器。
2.0.30 超高效空氣過濾器 ultra low penetration air filter (ULPA)
    在額定風(fēng)量下，對(duì)粒徑0.1μm～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上的空氣過濾器。
2.0.31 純水 purity water
    對(duì)電解質(zhì)雜質(zhì)含量和非電解質(zhì)雜質(zhì)含量均有要求的水。
2.0.32 防靜電環(huán)境 antistatic environment
    能防止靜電危害的特定環(huán)境，在這一環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電，靜電產(chǎn)生后易于消散或消除，靜電噪聲難以傳播。
2.0.33 表面電阻 surface resistance
    在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。
2.0.34 體積電阻 volume resistance
    在材料的相對(duì)兩表面上放置的兩電極間所加直流電壓與流過兩電極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。該電流不包括沿材料表面的電流。
2.0.35 表面電阻率 surface resistivity
    在材料表面層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流線密度之商。
2.0.36 體積電阻率 volume resistivity
    在材料內(nèi)層的直流電場(chǎng)強(qiáng)度與穩(wěn)態(tài)電流密度之商。
2.0.37 專用消防口 fire-fight access
    消防人員為滅火而進(jìn)入建筑物的專用入口，平時(shí)封閉，使用時(shí)由消防人員從室外打開。
2.0.38 自凈時(shí)間 recovery time of cleanliness
    潔凈室被污染后，凈化空調(diào)系統(tǒng)開始運(yùn)行至恢復(fù)到穩(wěn)定的規(guī)定室內(nèi)潔凈度等級(jí)所需的時(shí)間。
2.0.39 生物潔凈室 biological clean room
    潔凈室空氣中懸浮微生物控制在規(guī)定值內(nèi)的限定空間。
2.0.40 浮游菌 airborne viable bacteria
    懸浮在空氣中的帶菌微粒。
2.0.41 沉降菌 settlemen bacteria
    降落在培養(yǎng)皿上的帶菌微粒。
2.0.42 U描述符 U descriptor
    每立方米空氣中包括超微粒子的實(shí)測(cè)或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。
2.0.43 M描述符 M descriptor
    每立方米空氣中實(shí)測(cè)的或規(guī)定的微粒子。M描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。
2.0.44 工業(yè)管道 industrial pipe
    潔凈廠房?jī)?nèi)，除給水排水管道和凈化空調(diào)、采暖通風(fēng)管道外的氣體、液體管道，統(tǒng)稱為工業(yè)管道。

3 空氣潔凈度等級(jí)

3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)應(yīng)按表3.0.1確定。

表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級(jí)

注：按不同的測(cè)量方法，各等級(jí)水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。

    2 各種要求粒徑D的最大濃度限值C_n應(yīng)按下式計(jì)算：

式中：C_n——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m³)。C_n是四舍五入至相近的整數(shù)，有效位數(shù)不超過三位數(shù);
      N——空氣潔凈度等級(jí)，數(shù)字不超過9，潔凈度等級(jí)整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
      D——要求的粒徑(μm);
      0.1——常數(shù)，其量綱為μm。
    3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí)，相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
    4 空氣潔凈度等級(jí)的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm～0.5μm，超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補(bǔ)充說明。
3.0.2 空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)，空氣潔凈度等級(jí)所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測(cè)試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進(jìn)行。
3.0.4 當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí)，應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對(duì)各空氣潔凈度等級(jí)規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。

4 總體設(shè)計(jì)
4.1 潔凈廠房位置選擇和總平面布置

4.1.1 潔凈廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：
    1 應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域。
    2 應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場(chǎng)、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、貯倉、堆場(chǎng)等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾的區(qū)域。當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí)，應(yīng)位于最大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年最小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)。
    3 應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人流、物流不穿越或少穿越的地段。
4.1.2 對(duì)于兼有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測(cè)定周圍現(xiàn)有振源的振動(dòng)影響，并應(yīng)與精密設(shè)備、精密儀器儀表容許振動(dòng)值分析比較后確定。
4.1.3 潔凈廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的最近距離宜大于50m。
4.1.4 潔凈廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個(gè)長(zhǎng)邊設(shè)置消防車道。
4.1.5 潔凈廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。
4.1.6 潔凈廠房周圍應(yīng)進(jìn)行綠化?？射佒膊萜?，不應(yīng)種植對(duì)生產(chǎn)有害的植物，并不得妨礙消防作業(yè)。

5 建筑
5.1 一般規(guī)定

5.1.1 潔凈廠房的建筑平面和空間布局應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
5.1.2 潔凈廠房圍護(hù)結(jié)構(gòu)的材料選型應(yīng)符合保溫、隔熱、防火、防潮、少產(chǎn)塵等要求。
5.1.3 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性應(yīng)與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能。廠房變形縫不宜穿越潔凈區(qū)。
5.1.4 送、回風(fēng)管和其他管線暗敷時(shí)，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。穿越樓層的豎向管線需暗敷時(shí)，宜設(shè)置技術(shù)豎井，其形式、尺寸和構(gòu)造應(yīng)符合風(fēng)道、管線的安裝、檢修和防火要求。
5.1.5 對(duì)兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房的平面布局和構(gòu)造處理，應(yīng)避免人流、物流運(yùn)輸及防火方面對(duì)潔凈生產(chǎn)帶來不利的影響。

6 空氣凈化
6.1 一般規(guī)定

6.1.1 潔凈廠房?jī)?nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對(duì)生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求。
6.1.2 應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級(jí)的不同要求，選用不同的氣流流型。
6.1.3 下列情況之一者，其凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：
    1 運(yùn)行班次或使用時(shí)間不同。
    2 生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質(zhì)或氣體對(duì)其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量有影響。
    3 對(duì)溫、濕度控制要求差別大。
    4 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)。
6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍應(yīng)符合表6.1.4的規(guī)定。

表6.1.4 潔凈室的溫、濕度范圍

6.1.5 潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列兩項(xiàng)中的最大值：
    1 補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新鮮空氣量之和。
    2 保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m³。
6.1.6 潔凈區(qū)的清掃宜采用移動(dòng)式高效真空吸塵器，但空氣潔凈度等級(jí)為1級(jí)～5級(jí)的單向流潔凈室宜設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)的吸塵系統(tǒng)管道應(yīng)暗敷，吸塵口應(yīng)加蓋封堵。
6.1.7 凈化空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)對(duì)維護(hù)管理的要求應(yīng)符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

7 給水排水
7.1 一般規(guī)定

7.1.1 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水排水干管應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)，也可埋地敷設(shè)。潔凈室內(nèi)管道宜暗裝，與本房間無關(guān)的管道不宜穿過。
7.1.2 管道外表面可能結(jié)露時(shí)，應(yīng)采取防護(hù)措施。防結(jié)露層外表面應(yīng)光滑，易于清洗，并不得對(duì)潔凈室造成污染。
7.1.3 管道穿過潔凈室墻壁、樓板和頂棚時(shí)應(yīng)設(shè)套管，管道和套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。無法設(shè)置套管的部位也應(yīng)采取有效的密封措施。

7.2 給水

7.2.1 潔凈廠房?jī)?nèi)的給水系統(tǒng)應(yīng)符合生產(chǎn)、生活和消防等各項(xiàng)用水對(duì)水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，并應(yīng)分別設(shè)置。管道的設(shè)計(jì)應(yīng)留有余量，以適應(yīng)工藝變動(dòng)。
7.2.2 水質(zhì)要求較高的純水供水管道應(yīng)采用循環(huán)供水方式，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 循環(huán)附加水量應(yīng)為使用水量的30%～100%。
    2 干管流速應(yīng)為1.5m/s～3m/s。
    3 不循環(huán)的支管長(zhǎng)度應(yīng)盡量短，其長(zhǎng)度不應(yīng)大于6倍管徑。
    4 供水干管上應(yīng)設(shè)有清洗口。
    5 管道系統(tǒng)各組成部分應(yīng)密封，不得有滲氣現(xiàn)象。
7.2.3 管材選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 純水管道的管材應(yīng)符合生產(chǎn)工藝對(duì)水質(zhì)的要求，可選擇不銹鋼管或工程塑料管。
    2 工藝設(shè)備用循環(huán)冷卻給水和回水管可采用熱鍍鋅鋼管、不銹鋼管或工程塑料管等。
    3 管道配件應(yīng)采用與管道相應(yīng)的材料。
7.2.4 循環(huán)冷卻水管道應(yīng)預(yù)留清洗口。
7.2.5 潔凈廠房周圍應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。

7.3 排水

7.3.1 排水系統(tǒng)應(yīng)符合工藝設(shè)備排出的廢水性質(zhì)、濃度和水量等要求。有害廢水應(yīng)經(jīng)廢水處理，達(dá)到國(guó)家排放標(biāo)準(zhǔn)后排出。
7.3.2 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，排水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有完善的透氣裝置。
7.3.3 潔凈室內(nèi)地漏等排水設(shè)施的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 空氣潔凈度等級(jí)嚴(yán)于6級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)設(shè)地漏。
    2 6級(jí)潔凈室內(nèi)不宜設(shè)地漏，如必須設(shè)置時(shí)，應(yīng)采用專用地漏。
    3 空氣潔凈度等級(jí)等于或嚴(yán)于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不宜設(shè)排水溝。
    4 空氣潔凈度等級(jí)等于或嚴(yán)于7級(jí)的潔凈室內(nèi)不應(yīng)穿過排水立管，其他潔凈室內(nèi)穿過排水立管時(shí)不應(yīng)設(shè)檢查口。
7.3.4 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清洗的衛(wèi)生設(shè)備、管道、管架及其附件。
7.3.5 潔凈廠房宜設(shè)置消防排水設(shè)施。

7.4 消防給水和滅火設(shè)備

7.4.1 潔凈廠房必須設(shè)置消防給水設(shè)施，消防給水設(shè)施設(shè)置設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性、建筑物耐火等級(jí)以及建筑物的體積等因素確定。
7.4.2 潔凈廠房的消防給水和固定滅火設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。
7.4.3 潔凈室的生產(chǎn)層及可通行的上、下技術(shù)夾層應(yīng)設(shè)置室內(nèi)消火栓。消火栓的用水量不應(yīng)小于10L/s，同時(shí)使用水槍數(shù)不應(yīng)少于2只，水槍充實(shí)水柱長(zhǎng)度不應(yīng)小于10m，每只水槍的出水量應(yīng)按不小于5L/s計(jì)算。
7.4.4 潔凈廠房?jī)?nèi)各場(chǎng)所必須配置滅火器，配置滅火器設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。
7.4.5 潔凈廠房?jī)?nèi)設(shè)有貴重設(shè)備、儀器的房間設(shè)置固定滅火設(shè)施時(shí)，除應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 當(dāng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)時(shí)，宜采用預(yù)作用式自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。
    2 當(dāng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)時(shí)，不應(yīng)采用鹵代烷1211以及能導(dǎo)致人員窒息和對(duì)保護(hù)對(duì)象產(chǎn)生二次損害的滅火劑。

8 工業(yè)管道
8.1 一般規(guī)定

8.1.1 潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的敷設(shè)應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 潔凈室(區(qū))內(nèi)工業(yè)管道不應(yīng)穿越無關(guān)的房間。
    2 干管應(yīng)敷設(shè)在上、下技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)。
    3 易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道應(yīng)明敷。
    4 當(dāng)易燃、易爆、有毒物質(zhì)管道敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)時(shí)，必須采取可靠的濃度檢測(cè)報(bào)警、通風(fēng)措施。
8.1.2 潔凈室(區(qū))工業(yè)管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50316的有關(guān)規(guī)定。
8.1.3 工業(yè)管道設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 應(yīng)按輸送介質(zhì)的物化性質(zhì)，合理確定管內(nèi)物料流速和管徑。
    2 在滿足生產(chǎn)工藝的條件下，管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
    3 應(yīng)避免出現(xiàn)不易吹除的盲管、死角和不易清掃的部位。
    4 管道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)必需的吹除口、放凈口和取樣口。
8.1.4 工業(yè)管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應(yīng)有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
8.1.5 可燃?xì)怏w管道、氧氣管道的末端或最高點(diǎn)均應(yīng)設(shè)置放散管。放散管引至室外應(yīng)高出屋脊1m，并應(yīng)有防雨、防雜物侵入的措施。
8.1.6 氣體凈化裝置的選擇和配置應(yīng)符合氣源和生產(chǎn)工藝對(duì)氣體純度的要求。氣體終端凈化裝置宜設(shè)在鄰近用氣點(diǎn)處。
8.1.7 氣體過濾器的選擇和配置應(yīng)符合生產(chǎn)工藝對(duì)氣體潔凈度的要求。高純氣體終端過濾器應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。
8.1.8 潔凈廠房?jī)?nèi)、生產(chǎn)類別為現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016規(guī)定的甲、乙類氣體、液體入口室或分配室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 當(dāng)毗連布置時(shí)，應(yīng)設(shè)在單層廠房靠外墻或多層廠房的最上一層靠外墻處，并應(yīng)與相鄰房間采用耐火極限大于3.0h的隔墻分隔。
    2 應(yīng)有良好的通風(fēng)。
    3 泄壓設(shè)施和電氣防爆應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016、《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

8.2 管道材料和閥門

8.2.1 工業(yè)管道材料和閥門應(yīng)根據(jù)所輸送物料的物化性質(zhì)和使用工況選用，并應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的要求和使用特點(diǎn)，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。
8.2.2 高純氣體管道和閥門的選用應(yīng)符合生產(chǎn)工藝的要求，并應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 當(dāng)氣體純度大于或等于99.999%，露點(diǎn)低于-76℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管或內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。閥門宜采用隔膜閥或波紋管閥。
    2 當(dāng)氣體純度大于或等于99.99%，露點(diǎn)低于-60℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管。除可燃?xì)怏w管道宜采用波紋管閥外，其他氣體管道宜采用球閥。
8.2.3 當(dāng)干燥壓縮空氣露點(diǎn)低于-70℃時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁光亮拋光的不銹鋼管;當(dāng)露點(diǎn)低于-40℃時(shí)，宜采用不銹鋼管或熱鍍鋅無縫鋼管。閥門宜采用波紋管閥或球閥。
8.2.4 閥門材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)相適應(yīng)。

8.3 管道連接

8.3.1 工業(yè)管道的連接應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 管道連接應(yīng)采用焊接，熱鍍鋅鋼管應(yīng)采用螺紋連接。
    2 不銹鋼管應(yīng)采用氬弧焊，以對(duì)接焊或承接焊連接;高純氣體管道宜采用內(nèi)壁無斑痕的對(duì)接焊。
8.3.2 管道與設(shè)備的連接應(yīng)符合設(shè)備的連接要求。當(dāng)采用軟管連接時(shí)宜采用金屬軟管。
8.3.3 管道與管道、管道與閥門連接的密封材料應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 螺紋或法蘭連接處的密封材料應(yīng)根據(jù)輸送物料性質(zhì)、設(shè)計(jì)工況選擇，宜采用聚四氟乙烯等。
    2 高純氣體管道與閥門連接的密封材料應(yīng)按生產(chǎn)工藝和氣體特性的要求確定，宜采用金屬墊或雙卡套。
8.3.4 潔凈室(區(qū))內(nèi)的工業(yè)管道應(yīng)根據(jù)管子表面溫度和環(huán)境溫度、濕度確定保溫形式和構(gòu)造。冷管道保溫后的外表面溫度不應(yīng)低于環(huán)境的露點(diǎn)溫度。保溫層外表面應(yīng)采用不產(chǎn)生塵粒、微生物的材料，并應(yīng)平整、光潔，宜采用金屬外殼保護(hù)。

8.4 安全技術(shù)

8.4.1 下列部位應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w報(bào)警裝置和事故排風(fēng)裝置，報(bào)警裝置應(yīng)與相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)連鎖：
    1 生產(chǎn)類別為甲類的氣體、液體入口室或分配室。
    2 管廊，上、下技術(shù)夾層，技術(shù)夾道內(nèi)有可燃?xì)怏w的易積聚處。
    3 潔凈室內(nèi)使用可燃?xì)怏w處。
8.4.2 可燃?xì)怏w管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
    1 接至用氣設(shè)備的支管宜設(shè)置阻火器。
    2 引至室外的放散管應(yīng)設(shè)置阻火器，并應(yīng)設(shè)置防雷保護(hù)設(shè)施。
    3 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.3 氧氣管道應(yīng)采取下列安全技術(shù)措施：
    1 管道及其閥門、附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)格脫脂處理。
    2 應(yīng)設(shè)導(dǎo)除靜電的接地設(shè)施。
8.4.4 工業(yè)管道應(yīng)按不同介質(zhì)設(shè)明顯的標(biāo)識(shí)。
8.4.5 各種氣瓶庫應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)，應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。

9 電氣
9.1 配電

9.1.1 潔凈廠房低壓配電設(shè)計(jì)應(yīng)采用220/380V。帶電導(dǎo)體系統(tǒng)的形式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地的形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。
9.1.2 潔凈廠房的用電負(fù)荷等級(jí)和供電要求應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50052的有關(guān)規(guī)定和生產(chǎn)工藝要求確定。主要生產(chǎn)工藝設(shè)備應(yīng)由專用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電，有特殊要求的工作電源宜設(shè)置不間斷電源(UPS)。凈化空調(diào)系統(tǒng)用電負(fù)荷、照明負(fù)荷應(yīng)由變電所專線供電。
9.1.3 潔凈廠房消防用電設(shè)備的供配電設(shè)計(jì)應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑防火設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50016有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。
9.1.4 電源進(jìn)線應(yīng)設(shè)置切斷裝置，并宜設(shè)在潔凈區(qū)外便于管理的地點(diǎn)。
9.1.5 潔凈室內(nèi)的配電設(shè)備應(yīng)選擇不易積塵、便于擦拭的小型暗裝設(shè)備，不宜設(shè)置大型落地安裝的配電設(shè)備。
9.1.6 潔凈室內(nèi)的電氣管線宜暗敷，穿線導(dǎo)管應(yīng)采用不燃材料。潔凈區(qū)的電氣管線管口及安裝于墻上的各種電器設(shè)備與墻體接縫處應(yīng)有可靠的密封措施。

9.2 照明

9.2.1 潔凈室內(nèi)照明光源宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達(dá)不到設(shè)計(jì)要求時(shí)，可采用其他形式光源。
9.2.2 潔凈室內(nèi)一般照明燈具應(yīng)為吸頂明裝。當(dāng)燈具嵌入頂棚暗裝時(shí)，安裝縫隙應(yīng)有可靠的密封措施。潔凈室應(yīng)采用潔凈室專用燈具。
9.2.3 無采光窗的潔凈室(區(qū))的生產(chǎn)用房間一般照明的照度標(biāo)準(zhǔn)值宜為200lx～500lx，輔助用房、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等宜為150lx～300lx。
9.2.4 潔凈室內(nèi)一般照明的照度均勻度不應(yīng)小于0.7。
9.2.5 潔凈廠房?jī)?nèi)備用照明的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置備用照明。
    2 備用照明宜作為正常照明的一部分。
    3 備用照明應(yīng)滿足所需場(chǎng)所或部位進(jìn)行必要活動(dòng)和操作的最低照度。
9.2.6 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置供人員疏散用的應(yīng)急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉(zhuǎn)角處應(yīng)按現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定設(shè)置疏散標(biāo)志。在專用消防口處應(yīng)設(shè)置疏散標(biāo)志。

9.2.7 潔凈廠房中有爆炸危險(xiǎn)的房間的照明燈具和電氣線路的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

9.3 通信

9.3.1 潔凈廠房?jī)?nèi)應(yīng)設(shè)置與廠房?jī)?nèi)、外聯(lián)系的通信裝置。潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)區(qū)與其他工段的聯(lián)系宜設(shè)生產(chǎn)對(duì)講電話。
9.3.2 潔凈廠房根據(jù)生產(chǎn)管理和生產(chǎn)工藝特殊需要，宜設(shè)置閉路電視監(jiān)視系統(tǒng)。
9.3.3 潔凈廠房的生產(chǎn)層、技術(shù)夾層、機(jī)房、站房等均應(yīng)設(shè)置火災(zāi)報(bào)警探測(cè)器。潔凈廠房生產(chǎn)區(qū)及走廊應(yīng)設(shè)置手動(dòng)火災(zāi)報(bào)警按鈕。
9.3.4 潔凈廠房應(yīng)設(shè)置消防值班室或控制室，并不應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)內(nèi)。消防值班室應(yīng)設(shè)置消防專用電話總機(jī)。
9.3.5 潔凈廠房的消防控制設(shè)備及線路連接應(yīng)可靠?？刂圃O(shè)備的控制及顯示功能應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50116的有關(guān)規(guī)定。潔凈區(qū)內(nèi)火災(zāi)報(bào)警應(yīng)進(jìn)行核實(shí)，并應(yīng)進(jìn)行下列消防聯(lián)動(dòng)控制：
    1 應(yīng)啟動(dòng)室內(nèi)消防水泵，接收其反饋信號(hào)。除自動(dòng)控制外，還應(yīng)在消防控制室設(shè)置手動(dòng)直接控制裝置。
    2 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火閥，停止相應(yīng)的空調(diào)循環(huán)風(fēng)機(jī)、排風(fēng)機(jī)及新風(fēng)機(jī)，并應(yīng)接收其反饋信號(hào)。
    3 應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門、防火卷簾門。
    4 應(yīng)控制備用應(yīng)急照明燈和疏散標(biāo)志燈燃亮。
    5 在消防控制室或低壓配電室，應(yīng)手動(dòng)切斷有關(guān)部位的非消防電源。
    6 應(yīng)啟動(dòng)火災(zāi)應(yīng)急擴(kuò)音機(jī)，進(jìn)行人工或自動(dòng)播音。
    7 應(yīng)控制電梯降至首層，并接收其反饋信號(hào)。
9.3.6 潔凈廠房中易燃、易爆氣體、液體的貯存和使用場(chǎng)所及入口室或分配室應(yīng)設(shè)可燃?xì)怏w探測(cè)器。有毒氣體、液體的貯存和使用場(chǎng)所應(yīng)設(shè)氣體檢測(cè)器。報(bào)警信號(hào)應(yīng)聯(lián)動(dòng)啟動(dòng)或手動(dòng)啟動(dòng)相應(yīng)的事故排風(fēng)機(jī)，并應(yīng)將報(bào)警信號(hào)送至消防控制室。

9.4 自動(dòng)控制

9.4.1 潔凈廠房宜設(shè)置凈化空調(diào)系統(tǒng)等的自動(dòng)監(jiān)控裝置。
9.4.2 潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)宜選用變頻調(diào)速控制的風(fēng)機(jī)。
9.4.3 凈化空調(diào)系統(tǒng)的電加熱器應(yīng)設(shè)置無風(fēng)、超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)裝置。當(dāng)采用電加濕器時(shí)，應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)裝置。

9.5 靜電防護(hù)及接地

9.5.1 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)要求采取靜電防護(hù)措施。
9.5.2 潔凈室(區(qū))內(nèi)的防靜電地面，其性能應(yīng)符合下列規(guī)定：
    1 地面的面層應(yīng)具有導(dǎo)電性能，并應(yīng)保持長(zhǎng)時(shí)間性能穩(wěn)定。
    2 地面的面層應(yīng)采用靜電耗散性的材料，其表面電阻率應(yīng)為1.0×10⁵Ω/□～1.0×10¹²Ω/□或體積電阻率為1.0×10⁴Ω·cm～1.0×10¹¹Ω·cm。
    3 地面應(yīng)設(shè)有導(dǎo)電泄放措施和接地構(gòu)造，其對(duì)地泄放電阻值應(yīng)為1.0×10⁵Ω～1.0×10⁹Ω。
9.5.3 潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)采取防靜電接地措施。
9.5.4 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)場(chǎng)所的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。
9.5.5 防靜電接地系統(tǒng)應(yīng)分別按不同要求設(shè)置接地連接端子。在一個(gè)房間內(nèi)應(yīng)設(shè)置等電位的接地網(wǎng)格或閉合的接地銅排環(huán)。
    在防靜電接地系統(tǒng)各個(gè)連接部位之間電阻值應(yīng)小于0.1Ω。
9.5.6 潔凈廠房?jī)?nèi)不同功能的接地系統(tǒng)的設(shè)計(jì)均應(yīng)遵循等電位聯(lián)結(jié)的原則，其中直流接地系統(tǒng)不能與交流接地系統(tǒng)混接。直流工作接地的接地干線應(yīng)單獨(dú)絕緣敷設(shè)，并應(yīng)使用絕緣屏蔽電纜。
9.5.7 接地系統(tǒng)采用綜合接地方式時(shí)接地電阻值應(yīng)小于或等于1Ω：選擇分散接地方式時(shí)，各種功能接地系統(tǒng)的接地體必須遠(yuǎn)離防雷接地系統(tǒng)的接地體，兩者應(yīng)保持20m以上的間距。潔凈廠房的防雷接地系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057的有關(guān)規(guī)定。