潔凈級別:百級、千級、10萬級
建筑面積:8300平方米
項目地址:深圳
每個行業(yè)的潔凈車間建造都有各自的標準要求,今天合潔科技電子凈化工程就帶大家一起來了解下半導體潔凈車間的建造標準吧!
半導體潔凈車間是指通過高效過濾、低溫、恒溫控制、高壓等環(huán)境控制技術,將半導體制造設備和產品放置在一個極低污染的空氣環(huán)境中的車間。它的主要作用是防止空氣中的微小顆粒、氣體、濕度等污染物和微生物污染,以確保半導體材料、工藝和產品的質量。
半導體潔凈車間的空氣清潔度標準一般是采用ISO14644-1標準,清潔度級別從Class1到Class9,Class1表示最清潔的環(huán)境,Class9表示最污染的環(huán)境。 根據(jù)不同的要求,可以采用不同的清潔度級別。
除了空氣清潔度標準外,半導體潔凈車間還有一些特殊的安全要求。 例如,空氣的濕度必須保持在一定的范圍,控制在30-60%RH之間; 溫度必須保持在一定的范圍,控制在18-25度之間; 每小時流量要求必須大于20m/h。 此外,半導體潔凈車間還要求噪聲小,燈光滿足要求,防靜電措施到位,防塵措施要達到最低要求等。
總而言之,半導體潔凈車間的標準主要是空氣清潔度標準、濕度、溫度、流量等,以及噪聲、燈光、防靜電、防塵措施等。
因篇幅問題,僅供參考,希望對您有所幫助,具體詳細方案可訪問我們合潔科技電子凈化工程的網站進一步了解,我們會為您持續(xù)講解潔凈工程施工流程,介紹潔凈工程各項要求以及解讀各類電子潔凈車間標準。