芯片在我們的生活中無處不在，它的生產(chǎn)環(huán)境要求很高，今天合潔科技電子凈化工程就跟大家了解下百級(jí)電子芯片凈化車間施工方案吧!

　　對(duì)于高等級(jí)、大面積的電子芯片凈化車間，對(duì)廠房的總體設(shè)計(jì)、建筑設(shè)計(jì)、空調(diào)系統(tǒng)設(shè)計(jì)、施工安裝、運(yùn)行管理等方面提出了嚴(yán)格、復(fù)雜的要求，極大地增加了設(shè)計(jì)與施工難度。

　　1. 潔凈度控制的基本途徑

　　(1)控制污染源，減少發(fā)塵量。主要指可能發(fā)生污染的設(shè)備設(shè)置于管理和進(jìn)入潔凈室的人與物的凈化。對(duì)施工階段來說，應(yīng)進(jìn)行嚴(yán)格的管理，在電子芯片凈化車間半潔凈階段和潔凈階段施工的人員，需換穿無塵工作服、工作鞋等;物料進(jìn)行清洗或除塵并由物料進(jìn)出口進(jìn)入。

　　(2)及時(shí)、有效得排除塵埃。涉及室內(nèi)的氣流組織，主要有亂流方式、層流方式、輔流方式等幾種方式，其作用是把室內(nèi)已有的塵埃及時(shí)有效地排出去，并阻止外界塵埃進(jìn)入。內(nèi)部裝修材料應(yīng)盡量選用難以積存塵埃的不易帶靜電的材料，防止微粒塵埃吸附停留。

　　(3)供給潔凈的空氣，阻止室外污染顆粒侵入室內(nèi)。主要設(shè)計(jì)空氣凈化處理、室內(nèi)壓力等，高潔凈度潔凈室需要使用超高性能的過濾器，以保證過濾0.5μm(或更小)的以上的微粒，保證輸入潔凈的空氣。潔凈室對(duì)相鄰環(huán)境應(yīng)維持一個(gè)正的靜壓差，以保證潔凈室的潔凈度不受相鄰低潔凈度要求區(qū)域的污染。

　　2. 高潔凈度控制關(guān)鍵施工工藝

　　2.1 電子芯片凈化車間主體結(jié)構(gòu)施工

　　主體結(jié)構(gòu)混凝土施工質(zhì)量對(duì)潔凈度控制有極大的影響。高潔凈度廠房在混凝土裂縫控制、耐久性、外觀質(zhì)量等方面較普通廠房建筑有更高的要求。在裂縫的控制上較一般工程更為嚴(yán)格，要求達(dá)到無肉眼可見裂縫，杜絕貫穿裂縫等有害裂縫的存在。本工程所采用混凝土，按普通混凝土高性能化的技術(shù)路線，進(jìn)行原材料優(yōu)化選擇、配合比優(yōu)化設(shè)計(jì)和施工過程的有效控制，確保了混凝土的高質(zhì)量要求。

　　出于高潔凈度需要和工藝、設(shè)備管線布置的要求，潔凈室采用承載能力大、空間布置靈活的密恐樓板，這種樓板能很好的滿足芯片生產(chǎn)設(shè)備的管線暗裝布置及潔凈度要求。

　　密恐樓板施工采用圓孔華夫模板，二層華夫板面需直接做超潔凈環(huán)氧地坪，對(duì)板面混凝土密實(shí)度和表面強(qiáng)度要求嚴(yán)格，板面平整度偏差在3米內(nèi)不大于±3㎜，表面原漿壓光，一次成型。

　　2.2 電子芯片凈化車間裝飾裝修施工

　　電子芯片凈化車間的建筑裝飾施工應(yīng)在廠房屋面防水工程和外圍護(hù)結(jié)構(gòu)完成、外門及外窗安裝完畢后進(jìn)行。潔凈室可采用金屬墻板裝配式結(jié)構(gòu)，也可采用砌筑墻或現(xiàn)澆混凝土墻抹灰等形式。

　　電子芯片凈化車間建筑裝飾施工應(yīng)采用不起塵、不開裂的材料，在施工過程中必須特意注意各種縫隙的處理，防止開裂、起塵，并在接縫處采用密封膠填塞，接縫處的縫隙不應(yīng)大于0.5㎜。建筑裝飾及門窗的縫隙應(yīng)在潔凈室的正壓面密封。

　　2.2.1 環(huán)氧樹脂自流坪施工

　　為保證高潔凈度，墻面、不封地面采用環(huán)氧涂料。環(huán)氧樹脂自流平地坪施工流程：原地面地處理(對(duì)所施工地板進(jìn)行全面打磨、修補(bǔ)、除塵)→底涂層處理(將底涂材料用滾筒滾涂或鏝刀刮涂)→鋪設(shè)石英砂漿層→中涂層處理(帶砂漿層固話，打磨，除塵后用鏝到刮涂調(diào)配好的中層材料)→面涂層處理(對(duì)中涂層打磨、吸塵，)再將面涂材料鏝涂與中涂層之上，使之自平流展。

　　2.2.2 內(nèi)墻環(huán)氧乳膠漆施工

　　內(nèi)墻環(huán)氧乳膠漆施工在室內(nèi)門窗、燈具安裝完畢后進(jìn)行。先做預(yù)埋，再做墻面，最后做分色先。

　　施工流程：基層處理→刷底膠(木質(zhì)及尤其面除外)→木質(zhì)基層封閉→局部補(bǔ)膩?zhàn)印鷿M刮膩?zhàn)印⒌讓油苛稀⒚嫱苛稀嵑捅Ｗo(hù)。

　　室內(nèi)裝飾施工往往會(huì)有其他工種的交叉作業(yè)，應(yīng)注意涂料工程的成品保護(hù)：已施工墻面如受到污染，可用干凈的濕抹布輕輕擦洗，污染嚴(yán)重時(shí)應(yīng)重新涂刷;如不慎沾上油漆，應(yīng)在油漆干燥前，用稀釋劑將其擦去;涂層干后，在交工前不得長時(shí)間浸水，以免發(fā)生質(zhì)量事故;涂刷工具用畢應(yīng)及時(shí)清洗干凈并妥善保管。

　　柱、墻、梁陽角均抹圓處理一方碰壞落灰或積灰，踢腳不超出墻、柱平面，防止積灰。

　　2.2.3 高架地板施工

　　為通風(fēng)及設(shè)備安置需要，二樓潔凈室采用高架地板。其主要施工工藝如下：

　　(1)放樣

　　根據(jù)施工圖，用經(jīng)緯儀在現(xiàn)場放出X，Y軸線，用鐳射儀放出水平基準(zhǔn)線。每個(gè)區(qū)域中部放一基準(zhǔn)軸線和水平基準(zhǔn)線，并放出輔助線和水平標(biāo)高線。

　　(2)基準(zhǔn)排鋪設(shè)

　　沿X，Y軸基準(zhǔn)線，各鋪設(shè)6排地板，調(diào)整使其與軸線對(duì)齊，與標(biāo)高相平，以該6排作為基準(zhǔn)排。

　　(3)大面鋪設(shè)、調(diào)平

　　沿基準(zhǔn)排逐排鋪設(shè)大面地板，將腳架擺放與相應(yīng)位置，一般區(qū)腳架為48管，加強(qiáng)區(qū)腳架為60管。利用鐳射儀調(diào)整上基座至接近地板下之高度位置。

　　腳架調(diào)平后開始抹膠，膠應(yīng)均勻地涂抹與底盤上。為保證抹膠均勻，抹膠工作由專業(yè)技術(shù)人員負(fù)責(zé)進(jìn)行。將抹好膠的腳架置于地面，同時(shí)擺放縱橫向的橫梁，一般區(qū)為25㎜×25㎜×558㎜的門形橫梁，加強(qiáng)區(qū)為25㎜×25㎜×558㎜方形橫梁且中間加一支25㎜×25㎜×776㎜的加強(qiáng)橫梁。鎖橫梁螺絲，橫梁螺絲的規(guī)格為12M6的十字沉頭螺絲。

　　敲導(dǎo)電墊片并鋪地板。利用鐳射儀調(diào)整上基座，使地板表面高度與水平標(biāo)高線相平。在大面施作時(shí)，每50排需用經(jīng)緯儀檢驗(yàn)X，Y軸之垂直適合位移，隨時(shí)進(jìn)行調(diào)整修正，最后應(yīng)進(jìn)行手邊處理。

　　2.3 高潔凈度芯片廠房空調(diào)及管道系統(tǒng)安裝關(guān)鍵技術(shù)

　　凈化空調(diào)及管道系統(tǒng)的施工安裝是高潔凈廠房施工的最重要組成部分，必須按高潔凈廠房的整體施工要求、進(jìn)度安排和潔凈室特有的施工程序進(jìn)行組織。

　　2.3.1風(fēng)管施工安裝

　　采用自動(dòng)剪板機(jī)進(jìn)行風(fēng)管下料，根據(jù)不同管徑確定其施工順序如下：

　　(1)管徑2000㎜以下風(fēng)管：工廠加工(半成品)運(yùn)至預(yù)制廠組裝成成品→運(yùn)至現(xiàn)場清潔→吊裝→漏光試驗(yàn)→保溫;

　　(2)管徑2000㎜以上風(fēng)管：工廠加工(半成品)→運(yùn)至預(yù)制廠組裝加固→清潔→吊裝→漏光試驗(yàn)→保溫。

　　2.3.2 管道安裝

　　(1)支吊架預(yù)支及安裝

　　根據(jù)施工圖及現(xiàn)場情況，繪制完整的支吊架制作大樣圖。支吊架安裝按《通風(fēng)與空調(diào)施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》(GB 50243-2002)執(zhí)行。潔凈室區(qū)域采用鍍鋅型材。鍍鋅型材焊接完成后，在焊縫處噴涂以便鍍鉻噴漆。支吊架的預(yù)制遵循“先主后次，先主管、后支管，先大管，后小管”的施工程序。

　　(2)管道吊裝

　　用起重機(jī)將每一樓層所需管子吊到該層?？紤]安裝過程中的安全性，針對(duì)大口徑管道，吊裝選用手拉葫蘆的卷揚(yáng)機(jī)相結(jié)合的方式。在管道系統(tǒng)端部搭設(shè)一個(gè)臨時(shí)吊裝架，先用單軌吊車或卷揚(yáng)機(jī)將管子提到條狀架上(如條件允許，可用起重機(jī)直接將管子吊至吊裝架上)，然后用卷揚(yáng)機(jī)在另一端水平牽引，將管子拉上支架固定。其他樓層則根據(jù)現(xiàn)場情況選用合適的吊裝方式。

　　(3)管道安裝

　　本工程中所用管材中鍍鋅鋼管居多，其次是不銹鋼管，再次是U-PVC管。鍍鋅鋼管直徑大于50㎜以上者采用焊接，直徑不大于50㎜時(shí)采用螺紋連接;不銹鋼管全部采用氬弧焊;PVC管采用膠水粘接。

　　管道安裝完成后進(jìn)行氣壓及水壓試驗(yàn)。承壓管道的試驗(yàn)壓力按工作壓力1.5倍計(jì)，冷凝水管做通水試驗(yàn)。

　　(4)管道保溫

　　本工程管道系統(tǒng)保溫全部采用難燃性橡塑保溫材料，保溫厚度按圖紙規(guī)定。

　　3 結(jié)語

　　芯片廠房的高潔凈度要求對(duì)建筑設(shè)計(jì)和施工均提出了較高要求，應(yīng)以系統(tǒng)、集成的思路，從設(shè)計(jì)優(yōu)化和主體結(jié)構(gòu)、裝飾施工及過程管理、空調(diào)及管道系統(tǒng)安裝施工、過程管理等諸方面，綜合采取措施，以保證高潔凈度控制效果。

　　因篇幅問題，僅供參考，希望對(duì)您有所幫助，具體詳細(xì)方案可訪問我們合潔科技電子凈化工程的網(wǎng)站進(jìn)一步了解，我們會(huì)為您持續(xù)講解潔凈工程施工流程，介紹潔凈工程各項(xiàng)要求以及解讀各類電子潔凈車間標(biāo)準(zhǔn)。