1.潔凈度

半導(dǎo)體凈化車間要確保高潔凈度，必須要對粉塵嚴(yán)格控制，保證粉塵只出不進(jìn)，因此凈化車間要保證正壓。建議在空調(diào)機組的基礎(chǔ)上，加裝大型鼓風(fēng)機，利用鼓風(fēng)機將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣連續(xù)不斷地輸入車間內(nèi)。

2.恒溫恒濕

保持車間內(nèi)恒溫恒濕，空調(diào)機組與鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)統(tǒng)一設(shè)計搭配使用。鼓風(fēng)機與空調(diào)系統(tǒng)同開同關(guān)，必須保證車間內(nèi)溫濕度的穩(wěn)定。

3.氣流走向

4.建材使用

所有建材均要求平順光滑，以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為宜，從內(nèi)部斷絕靜電的停留。

5.風(fēng)淋及除塵

除了科學(xué)設(shè)計人物流通道，盡量降低人物流移動對氣流及粉塵的影響，所有人物流進(jìn)出潔凈車間，人必須穿配套防塵服，經(jīng)風(fēng)淋室除塵，物體非必要嚴(yán)禁進(jìn)入潔凈車間內(nèi)，日常通過物體必須經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵除掉。

6.內(nèi)水使用

半導(dǎo)體凈化車間內(nèi)使用且只限于去離子水。去離子水可以有效防止水中粉粒污染晶圓，還可以防止水中重金屬離子(如鉀、鈉離子)污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。

7.氣源使用

技術(shù)的發(fā)展真的可以用日新月異來形容企業(yè)客戶在挑選凈化工程公司時，有哪些注意事項？具體可分為5條注意事項即：了解主體業(yè)務(wù)、查看公司資質(zhì)，查看工商信息、實地勘察、貨比三家。