晶圓廠凈化車間分哪些潔凈度等級?
2024-12-27
標(biāo)簽：
凈化車間
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凈化車間建設(shè)
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晶圓廠凈化車間
晶圓廠凈化車間的潔凈度等級是確保半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境高質(zhì)量的關(guān)鍵因素之一。晶圓制造過程中，塵埃粒子的存在會對產(chǎn)品質(zhì)量和良率產(chǎn)生重大影響，因此，對潔凈度的要求極為嚴(yán)格。...
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工信部備案號：