集成電路凈化工程設(shè)計(jì)案例
2024-03-08
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集成電路凈化工程
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凈化工程設(shè)計(jì)
集成電路凈化工程設(shè)計(jì)案例：一般要采用FFU凈化系統(tǒng)因?yàn)榫哂徐`活性，可適應(yīng)工藝變化，當(dāng)工藝發(fā)展需要提高空氣潔凈度級(jí)別時(shí)，采取增加FFU數(shù)量或更換更高效率的過濾器就...
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